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真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極,薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟,加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料;在金屬真空腔室中設(shè)有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟,金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作,電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上,其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案,并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。
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手套箱安裝籌備條件是哪些?
1.整機(jī)應(yīng)安放在溫差較小、操作便利的位置,應(yīng)避免陽光直曬和遠(yuǎn)離采暖設(shè)備,放置平穩(wěn);
2.將夾雜氣瓶、氮?dú)馄堪卜牌椒€(wěn),并分袂裝好減壓閥(含壓力表),安設(shè)在適當(dāng)位置;
3.接上氣路并檢查氣路,為防止漏氣,時可在各接管處用密封膠粘合;
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手套箱常見故障及解決辦法
1、清洗時箱壓持續(xù)增加
原因:清洗閥門沒有打開、進(jìn)氣壓力太大、管路不暢通造成。
辦法:①保證管路暢通,不要折彎;②清洗時,箱內(nèi)相對壓力持續(xù)低于0.5毫巴。
2、凈化柱主閥故障
原因:①工作氣壓力不足0.5Mpa;②主閥信號反饋故障。
辦法:①更換工作氣瓶,或檢查減壓閥副表壓力在0.5Mpa;②檢查主閥信號開關(guān)。
3、循環(huán)不能開啟
原因:風(fēng)機(jī)變頻器低壓或高壓保護(hù)。
辦法:待電壓穩(wěn)定后,關(guān)機(jī)隔1分鐘后重啟。
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注冊資金:1000萬
聯(lián)系人:張女士
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企業(yè)地址: 通州區(qū)