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PECVD石墨舟設(shè)計(jì)-PECVD石墨舟-東莞石金科技石墨制品

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pecvd石墨舟廠家

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石墨是我們?cè)谥袑W(xué)的化學(xué)課本當(dāng)中就學(xué)過的一種碳元素的重要同素異形體。在自然狀態(tài)下是碳元素在高溫的情況下才能夠形成的,在的不少地方,PECVD石墨舟供應(yīng),比如美國的紐約我國的黑龍江等都是盛產(chǎn)石墨的地方。

在行業(yè)內(nèi)稱之為塊狀石墨管的是致密結(jié)晶狀的石墨管。它主要的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)就是比較致密的結(jié)晶體。這種石墨管的穩(wěn)定性好,非常的緊密,比較的堅(jiān)固,品位高但是可塑性和滑膩性并不是很好,PECVD石墨舟,這主要也是由于它自身結(jié)構(gòu)比較致密決定的。




石墨的一個(gè)主要用途是生產(chǎn)耐火材料,包括耐火磚、坩堝、連續(xù)鑄造粉、鑄模芯、鑄模、洗滌劑和耐高溫材料。

1. 防范強(qiáng)腐蝕火焰直噴石墨制品的側(cè)面和底砣;

2. 運(yùn)用適量的助燃劑、添加劑將減少石墨制品的壽命;

3. 拔除石墨制品表里壁熔渣和粘焦時(shí)候應(yīng)輕敲防范損壞石墨制品;

4. 石墨制品嚴(yán)防濕潤,存放時(shí)候必須放在干燥處或木架上;

5. 運(yùn)用前需要在干燥設(shè)備或爐旁熱烘烤,溫度逐漸升到500攝氏度;





正常的鍍舟可以滿足工藝正常生產(chǎn)需要,鍍舟不足會(huì)造成生產(chǎn)時(shí)工藝的化學(xué)反應(yīng)被石舟吸收造成硅片鍍膜不良,形成四周紅片。假如鍍舟過度,PECVD石墨舟廠,“吃的太飽”就容易造成硅片的四周發(fā)白。

因?yàn)槲覀兊闹燮晴U空的,硅片的四周是同舟片相接觸的,從而造成四周的生長(zhǎng)速率加快,形成片子四周發(fā)白(偏白)此點(diǎn)建議從鍍舟工藝上調(diào)整。

如果正常生產(chǎn)到一定次數(shù)偏白請(qǐng)及時(shí)調(diào)整工藝。紅片加時(shí)間,白片減時(shí)間。

其它原因:具體情況待交流分析




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