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KOAN 石英晶體微天平 QCM 和 和 QCM-D 與 與 MEMS 技術(shù)結(jié)合

MEMS 即微機電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是 MEMS 傳感器在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術(shù)，QCM晶體批發(fā)，具有廣闊的應用前景。

MEMS 傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。

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耗散型 KOAN 石英晶體微天平(QCM-D) 多功能應用介紹

越來越多的具有不同功能表面的芯片被用于生物材料、環(huán)境科學、石油、表面清潔劑、涂料等領(lǐng)域，用以檢測表面所發(fā)生的吸附、解吸、交聯(lián)、溶脹、降解等化學物理反應。使用 AT 切割方法使得制備的石英晶體芯片具有頻率高（500K~350M Hz）、壓電活力高、溫寬范圍內(nèi)頻率溫度特性好等優(yōu)點，QCM晶體， 而表面不同的涂層可以使得 QCM-D 技術(shù)應用到更多的領(lǐng)域。具有對氣體選擇性吸附的涂層可以被使用到特殊氣測。

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什么是晶體的壓電諧振？

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在一般情況下，晶片機械振動的振幅和交變電場的振幅非常微小，但當外加交變電壓的頻率為某一特定值時，振幅明顯加大，這種現(xiàn)象稱為壓電諧振。 它其實與 LC 振蕩電路的諧振現(xiàn)象十分相似。當晶體不振動時，可把它看成一個平板電容器稱為靜電電容 C，一般約幾個皮法到幾十皮法；當晶體振蕩時，機械振動的慣性可用電感 L 來等效，一般值為幾十毫亨利到幾百毫亨利。