光波超精密研究院-動壓三坐標(biāo)氣浮軸承-門頭溝區(qū)三坐標(biāo)氣浮軸承

光波超精密氣浮軸承廠家——三坐標(biāo)氣浮軸承

標(biāo)準(zhǔn)型空氣靜壓i軸承（簡稱標(biāo)準(zhǔn)空氣軸承）分為兩種，即

圓形平面空氣軸承和矩形平面空氣軸承。

根據(jù)工作面直徑，標(biāo)準(zhǔn)圓形平面空氣軸承系列分為Ф12，Ф18，Ф24，Ф30，Ф45，Ф60，三坐標(biāo)氣浮軸承生產(chǎn)，Ф80，Ф100，    Ф125，Ф400等數(shù)種規(guī)格。

根據(jù)工作面尺寸，門頭溝區(qū)三坐標(biāo)氣浮軸承，標(biāo)準(zhǔn)矩形平面空氣軸承系列分為54x25，69x50，75x55，高反光銅鏡三坐標(biāo)氣浮軸承，80x40，90x71，98x79，110x55等數(shù)種規(guī)格。

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這類平面空氣軸承通常也稱為氣浮墊、氣墊或者氣浮塊。

與機構(gòu)的連接方式：剛性連接（用螺栓直接固定，數(shù)種規(guī)格的矩形平面空氣軸承）、柔性連接（通過球頭螺

桿或高剛度鉸支連接）。

預(yù)載方式：重力預(yù)載、真空預(yù)載、磁性力預(yù)載、使用帶活塞空氣軸承預(yù)載、借助其它空氣軸承預(yù)載等。

工作氣隙：一般5-10μm，取決于具體應(yīng)用場合。

光波超精密——三坐標(biāo)氣浮軸承

氣浮軸承-節(jié)流方式與特點

根據(jù)節(jié)流方式，目前市場上比較常見的氣浮軸承（aerostatic bearings，以下簡稱氣浮軸承air bearings）主要有幾種類型：1）單小孔節(jié)流型；2）表面復(fù)合節(jié)流型；3）多孔質(zhì)材料節(jié)流型；4）微孔節(jié)流型。下述簡單介紹一下各種節(jié)流方式及其特點。

1）單小孔節(jié)流型氣浮軸承

這是早期氣浮軸承采用的節(jié)流方式，其節(jié)流器由一個直徑較大的小孔和一個環(huán)繞小孔的腔室構(gòu)成，見圖1。通常情況下，腔室大約占?xì)飧≥S承表面的3%-20%，腔室內(nèi)的空氣有一部分不能被壓縮，這些區(qū)域稱為“死容積區(qū)”，動壓三坐標(biāo)氣浮軸承，即使腔室的深度為1/100mm，“死容積區(qū)”也非常大?！八廊莘e區(qū)”對氣浮軸承動態(tài)性能影響很大，且會引起自激振動。

采用這種節(jié)流方式的氣浮軸承氣耗量較大，其承載能力、靜態(tài)和動態(tài)組合性能、穩(wěn)定性和阻尼性能等方面均很差，特別是傾側(cè)剛度(tilt stiffness)。自激振動大。

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氣浮墊不具有互換性。

氣浮軸承-節(jié)流方式與特點

2）表面復(fù)合節(jié)流型氣浮軸承

表面復(fù)合節(jié)流型氣浮軸承包括：a）多小孔帶阻尼腔室和溝槽節(jié)流型；b）微溝槽節(jié)流型。

a）多小孔帶阻尼腔室和溝槽節(jié)流型氣浮軸承

節(jié)流器由數(shù)個小孔、溝槽以及小腔室構(gòu)成，是一種表面復(fù)合節(jié)流型的氣浮軸承，見圖2。這種結(jié)構(gòu)的思路是基于假設(shè)：使用有限個小孔可以降低死容積區(qū)，同時使空氣在軸承間隙中均勻分配，因此這類氣浮軸承的設(shè)計理念就是找到一種特殊的溝槽結(jié)構(gòu)，但實際上仍然存在死容積區(qū)。

其主要缺點是氣隙內(nèi)空氣壓力不均勻、傾側(cè)剛度差、穩(wěn)定性和阻尼等方面也很差。自激振動大。

氣浮墊不具有互換性。

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氣浮軸承性能特點:

超高速度:可以是從0至50 -300-6000轉(zhuǎn)每分鐘

高精i確度;小于5納米(O.000005毫米)

非接觸; (介質(zhì)可選: 氣體、磁、油)

無摩擦力無磨損;

壽命長正常(正當(dāng))使用10年以上。

精度高，具有耐高溫、低溫及原子輻射的能力;

可根據(jù)客戶需求定制等，便于推廣應(yīng)用。

運轉(zhuǎn)平滑;有卓i越的速度控制性能:氣浮隔振、細(xì)分分度。

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氣浮軸承應(yīng)用領(lǐng)域

用于超精密車床銑床主軸、鉆石研磨、離心機主軸、加工中心、貼片機等;模具制造，機床行業(yè)，汽車行業(yè)等?？臻g模擬裝置; .精密計量(平面水平、垂直度、同心度、圓柱等的計量) ;光學(xué)測試;齒輪測量儀等，精密儀器軸承低速伺服轉(zhuǎn)臺、精密機床軸承裝置等應(yīng)用場合。