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射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(RF-PCVD)
在低壓容器的兩極上加高頻電壓則產(chǎn)生射頻放電形成等離子體,射頻電源通常采用電容耦合或電感耦合方式,其中又可分為電極式和無電極式結(jié)構(gòu),電極式一般采用平板式或熱管式結(jié)構(gòu),優(yōu)點(diǎn)是可容納較多工件,但這種裝置中的分解率遠(yuǎn)低于1%,汽車鍍膜設(shè)備,即等離子體的內(nèi)能不高。電極式裝置設(shè)在反應(yīng)容器外時(shí),主要為感應(yīng)線圈,如圖5,也叫無極環(huán)形放電,射頻頻率為13.56MHz。

直流等離子體化學(xué)氣相沉積(DC-PCVD)
DC-PCVD是利用高壓直流負(fù)偏壓(-1~-5kV),使低壓反應(yīng)氣體發(fā)生輝光放電產(chǎn)生等離子體,等離子體在電場(chǎng)作用下轟擊工件,并在工件表面沉積成膜。
直流等離子體比較簡(jiǎn)單,工件處于陰極電位,受其外形、大小的影響,車燈鍍膜設(shè)備,使電場(chǎng)分布不均勻,在陰極四周壓降,電場(chǎng)強(qiáng)度,鍍膜設(shè)備,正由于有這一特點(diǎn),所以化學(xué)反應(yīng)也集中在陰極工件表面,加強(qiáng)了沉積效率,避免了反應(yīng)物質(zhì)在器壁上的消耗。缺點(diǎn)是不導(dǎo)電的基體或薄膜不能應(yīng)用。由于陰極上電荷的積累會(huì)排斥進(jìn)一步的沉積,并會(huì)造成積累放電,破壞正常的反應(yīng)。
鍍膜機(jī)工藝在裝飾品方面的運(yùn)用跟著經(jīng)濟(jì)的開展和生活水平的進(jìn)步,大家喜愛將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室表里裝飾件、五金箱包、手機(jī)殼、手機(jī)視屏、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五光十色。
鍍膜技能在飛機(jī)防護(hù)涂層方面的運(yùn)用飛機(jī)的鈦合金緊固件,原來選用電鍍辦法鍍*。但在鍍*中含有氫,所以在飛翔進(jìn)程中,遭到大氣、海水的腐蝕,鍍層上簡(jiǎn)單發(fā)生'*脆',甚至導(dǎo)致'空難'。1964年,選用離子鍍辦法在鈦合金緊固件上鍍鋁,處理了飛機(jī)零件的'*脆'疑問。在離子鍍技能中,光學(xué)鍍膜設(shè)備價(jià)格,因?yàn)榻o工件施加負(fù)偏壓,能夠構(gòu)成'偽分散層'、細(xì)化膜層安排,因而能夠顯著進(jìn)步膜層的耐腐蝕功能。


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