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愛德華真空泵/EDWARDS真空泵/愛德華羅茨真空泵
EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠。
應(yīng)用
· 半導(dǎo)體制程
· 真空蒸餾
· 真空包裝
· 鋼脫氣
· 薄膜覆層
· 真空冶金
· 低密度風(fēng)洞
· 空間模擬
· 真空浸漬
· 油干燥和脫氣
· 制藥冷凍干燥
· CO2激光
功能和優(yōu)勢
· 適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場合。
·
· EH泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供:
· o 安靜的無振動運行。
· o 牢靠且防腐蝕。
· o 的軸封技術(shù),處理艙中不會出現(xiàn)油污染
· 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
· 經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門
· 軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
· 動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小,而這些特點正是技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 型號 | EH250 | EH500 | EH1200 | EH2600 | EH4200 |
| 排量(工作容積) | 310 m3h-1/ 185 ft3min-1 | 505 m3h-1/ 300 ft3min-1 | 1195 m3h-1/ 715 ft3min-1 | 2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1 | 4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1 |
| 使用前級泵時的有效抽速 | 240 m3h-1/ 141 ft3min-1 | 350 m3h-1/ 206 ft3min-1 | 840 m3h-1/ 495 ft3min-1 | 1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1 | 3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1 |
| 泵的壓力差 | 0-180 mbar/0-140 Torr | 0-110 mbar/0-83 Torr | 0-90 mbar/0-68 Torr | 0-80 mbar/0-60 Torr | 0-60 mbar / 0-45 Torr |
| 進氣口連接 | ISO63 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO250 |
| 出口連接 | ISO40 | ISO63 | ISO100 | ISO100 | ISO100 |
| 轉(zhuǎn)速 | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm |
| 連續(xù)進氣口工作壓力 | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr |
| 出口壓力 | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr |
| 推薦的前級泵 | GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 | GV80,E2M80 | GV160、GV250、 | GV250、GV400、 | GV400、E2M275 |
| 電機功率 |
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| 碳氫化合物 | 2.2 kW / 3 hp | 2.2 kW/3 hp | 3 kW/4 hp | 11 kW/15 hp | 11 kW/15 hp |
| PFPE | 1.5 kW / 2 hp | 1.5 kW/2 hp | 3 kW/4 hp | 7.5 kW/10 hp | 11 kW/15 hp |
| ATEX | 2.2 kW | 2.2 kW | 3 kW | 11 kW | 11 kW |
| 防爆 | 3 hp | 3 hp | 4 hp | 15 hp | 15 hp |
· 半導(dǎo)體制程
· 真空蒸餾
· 真空包裝
· 鋼脫氣
· 薄膜覆層
· 真空冶金
· 低密度風(fēng)洞
· 空間模擬
· 真空浸漬
· 油干燥和脫氣
· 制藥冷凍干燥
· CO2激光
功能和優(yōu)勢
· 適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場合。
注冊資金:100萬以下
聯(lián)系人:李振明
固話:0752-2123518
移動手機:13421663186
企業(yè)地址:廣東 惠州市 惠城區(qū)