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| | LV - 8600 是設(shè)計(jì)成裝入超微精度的半導(dǎo)體制造設(shè)備或精密機(jī)床中的傳感器式的激光測長儀。利用以激光波長為基準(zhǔn)的干涉法,實(shí)現(xiàn)高分辨率和高精度。具有安裝簡單、價格便宜的特點(diǎn)。 |
特點(diǎn)
最長可測 10 m
實(shí)現(xiàn) 5 m/s的跟蹤速度
對應(yīng)于高速定位控制
在整個速度范圍內(nèi)的分辨率為 0.08μm
采用了干涉儀一體型光學(xué)頭,光軸對中簡單
降格約 1/2(與本公司的產(chǎn)品比較)
結(jié)構(gòu)
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概要規(guī)格
| 跟蹤速度 | 0 ~ ±5 m/s |
| 分辨率 | 0.07910 μm(λ/8、電的4倍乘時) λ 在傳感器頭上個別記載 |
| 光軸偏差許可值 | 離光束中心 ±0.5 mm以內(nèi)(使用 LV-0812 時) |
| 精度 *1 | ±0.1 μm ± 0.2 ppm × 距離 |
| 量程 | 0 ~ 10 m(傳感器頭部前面的距離,在使用 LV-0812 時) |
| 光源 | He-Ne 激光射出光功率 1 mW 以下(級2) 波長 λ= 632.8 nm |
| 輸出信號 | AB相矩形波信號 相位差 90°±3°以內(nèi) *2 (LVDS 型差動線性驅(qū)動器輸出) AB相正弦波信號 (輸出阻抗 50 Ω、輸出電平 ±0.5 V 以上 ) |
| 使用電源 | AC 85 ~ 132 V、170 ~ 264 V 47 ~ 63 Hz 消耗電力 70 VA |
| 使用溫度 | +5 ~ +35℃ (傳感器頭、本體) |
| 濕度范圍 | 5 ~ 90 %(不結(jié)露) |
| 外形尺寸 | 本體: 160 (W) × 88 (H) × 220 (D) ㎜ |
| 重量 | 本體: 約 1.7 kg |
*1:溫度 +20℃/氣壓 1013.25 hpa /濕度 56.8 % 的條件下
*2:LV-8600 輸出信號波形
選 購 件
| 型 號 | 名 稱 | 用 途 |
| LV-0812 | 光束擴(kuò)大器6倍 | 將激光直徑變成 φ6 mm,可以在距離 0 ~ 10 m 范圍內(nèi)都可測定。 |
| LV-0855 | LV-8600 用計(jì)數(shù)器卡信號線 | 是將 LV-8600 的 A、B 相矩形波信號輸入計(jì)數(shù)器卡(接頭Box)用的信號線。 (LV-0852 計(jì)數(shù)器卡帶1根信號線) |
| LV-0801 | 角錐體φ 4 | 裝在小型、輕量的測試物上,使激光向傳感器頭部反射之用。(重量為0.2 g 以下) |
| LV-0802 | 角錐體φ 7 | 裝在測試物上,使激光向傳感器頭部反射用。(重量為2 g 以下) |
| NP-0010 | 粘接蠟 | 將角錐體粘接在測試物上用。 |
| LV-0831 | 動特性分析軟件 | 用位移速度及加速度分析測定物之動特性,同時對應(yīng)于2張計(jì)數(shù)器卡。 |
| LV-0833 | 時間系列數(shù)據(jù)處理軟件 | 使用以LV-0831(動特性分析軟件)所測定、保存的數(shù)據(jù),進(jìn)行數(shù)據(jù)之疊寫、FFT分析、通道間運(yùn)算等數(shù)據(jù)上的處理。 |
| LV-0852 | 計(jì)數(shù)器卡 PCMCIA 用 | 計(jì)數(shù)LV-9110A的Up/Down信號或LV-8600的A、B 相矩形波信號。與動特性分析規(guī)律組合使用,用1 張卡可接到2臺測長儀上。附帶一根LV-8600用計(jì)數(shù)器卡信號線 LV-0855 。 |
| LV-0853 | 高分辨率計(jì)數(shù)器卡 PCMCIA 用 | 由LV-9110A的Up/Down 信號、phase信號,可對移動位移量以0.01 μm的高分辨率計(jì)數(shù)。與動特性分析軟件組合使用,1張卡可接2臺測長儀。帶1根LV-9110A 用計(jì)數(shù)器卡信號線 LV-0854 。 |
| LV-0822 | 傳感器頭對中夾具 | 使光軸頭的光軸調(diào)整方便的夾具。 |
| LV-0016 | Z軸微調(diào)臺 | 可使傳感器上下定位。 |
| LV-0017 | 大型三腳架 | 在無底座的場所,放置傳感器之用。 |
注冊資金:100萬-500萬
聯(lián)系人:鄭丙翔
固話:
移動手機(jī):18310919337
企業(yè)地址:山東 濟(jì)南市 章丘市