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日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修:愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運(yùn)行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力,愛發(fā)科VSN6501油旋片真空泵維修,所以泵能提供更強(qiáng)的安全性。
泵不良現(xiàn)象及原因分析
1、不良現(xiàn)象:真空泵運(yùn)行過載報(bào)警。
2、原因分析:
經(jīng)對真空泵進(jìn)行拆解, 發(fā)現(xiàn)以下幾個(gè)問題點(diǎn):
不良現(xiàn)象 原因分析
(1)轉(zhuǎn)子軸套部磨損:
因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。
(2)泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳:
因泵軸承損壞,轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫,齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。
(3)軸承磨損:
因軸承潤滑脂失效,軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。

羅茨泵在真空工程領(lǐng)域中應(yīng)用時(shí),一般與前級泵(旋片泵、滑閥泵和水環(huán)泵等)串聯(lián)構(gòu)成機(jī)組,在中真空范圍,作為機(jī)械增壓泵來應(yīng)用;雙級或多級羅茨泵機(jī)組可獲得高真空;對于干式清潔無油的抽氣系統(tǒng)多用氣冷式羅茨泵機(jī)組;對于含水蒸氣的被抽系統(tǒng)多用濕式羅茨泵。 從羅茨泵的結(jié)構(gòu)原理得知,轉(zhuǎn)子可在高速下運(yùn)轉(zhuǎn),故泵的抽數(shù)很高(可達(dá)100000m3/h以上),而且結(jié)構(gòu)簡單,運(yùn)行經(jīng)濟(jì)。因而羅茨泵在冶金、石油化工、輕工造紙、電工電子以及食品等工作領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。

被抽氣體的溫度可能過高。解決之道:降低被抽氣體的溫度,或可以加一個(gè)相應(yīng)的換熱器。愛發(fā)科VSN6501油旋片真空泵維修泵內(nèi)的油路不通或者不暢,泵腔內(nèi)沒有保持一定量的油量。解決之道:檢查油路是否暢通,并加同類型的真空泵油。愛發(fā)科VSN6501油旋片真空泵維修配合的間隙改大。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等,造成旋片和定子之間磨損后的間隙增大。解決之道:檢查間隙是否過大,更換新的零部件。


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