東莞誠合真空設(shè)備公司-浙江愛發(fā)科VSN6501油旋片真空泵維修

日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修：愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵，用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能，高真度運(yùn)行，由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力，愛發(fā)科VSN6501油旋片真空泵維修，所以泵能提供更強(qiáng)的安全性。

泵不良現(xiàn)象及原因分析

1、不良現(xiàn)象：真空泵運(yùn)行過載報(bào)警。

2、原因分析：

經(jīng)對真空泵進(jìn)行拆解， 發(fā)現(xiàn)以下幾個(gè)問題點(diǎn)：

不良現(xiàn)象 原因分析

（1）轉(zhuǎn)子軸套部磨損：

因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限，軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。

（2）泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳：

因泵軸承損壞，轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫，齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。

（3）軸承磨損：

因軸承潤滑脂失效，軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。

羅茨泵在真空工程領(lǐng)域中應(yīng)用時(shí)，一般與前級泵（旋片泵、滑閥泵和水環(huán)泵等）串聯(lián)構(gòu)成機(jī)組，在中真空范圍，作為機(jī)械增壓泵來應(yīng)用；雙級或多級羅茨泵機(jī)組可獲得高真空；對于干式清潔無油的抽氣系統(tǒng)多用氣冷式羅茨泵機(jī)組；對于含水蒸氣的被抽系統(tǒng)多用濕式羅茨泵。 從羅茨泵的結(jié)構(gòu)原理得知，轉(zhuǎn)子可在高速下運(yùn)轉(zhuǎn)，故泵的抽數(shù)很高（可達(dá)100000m3/h以上），而且結(jié)構(gòu)簡單，運(yùn)行經(jīng)濟(jì)。因而羅茨泵在冶金、石油化工、輕工造紙、電工電子以及食品等工作領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。

被抽氣體的溫度可能過高。解決之道：降低被抽氣體的溫度，或可以加一個(gè)相應(yīng)的換熱器。愛發(fā)科VSN6501油旋片真空泵維修泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒有保持一定量的油量。解決之道：檢查油路是否暢通，并加同類型的真空泵油。愛發(fā)科VSN6501油旋片真空泵維修配合的間隙改大。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，造成旋片和定子之間磨損后的間隙增大。解決之道：檢查間隙是否過大，更換新的零部件。