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薄膜(比如銥和鉑薄膜)之所以引起人們的興趣是因?yàn)樗鼈兙哂辛己玫男阅?、高的電導(dǎo)率 、很強(qiáng)的催化活性以及很好的穩(wěn)定性等 。這些性能使得薄膜在電極材料 、微電子 、固態(tài)燃料電池和氣敏元件等許多領(lǐng)域存在廣泛的應(yīng)用。
在CVD處理過(guò)程中,尺寸變形小的材料是硬質(zhì)合金及含Cr高的不銹鋼系合金;沖壓加工領(lǐng)域使用的模具材料主要限于合金工具鋼、冷作模具鋼(CMoV)、硬質(zhì)合金等,其中快冷淬透鋼,由于快冷時(shí)容易產(chǎn)生翹曲、扭曲等變形,手機(jī)真空鍍膜設(shè)備,所以不宜進(jìn)行CVD處理;而高速鋼是熱處理膨脹較大的鋼種,使用時(shí)必須充分估計(jì)其膨脹變形量。
采用化學(xué)氣相沉積處理時(shí),應(yīng)注意以下問(wèn)題:
(1)要考慮模具銳角部分的凸起變形
由于涂層與基體的線(xiàn)脹系數(shù)不同,模具棱角處容易產(chǎn)生應(yīng)力集中,基材會(huì)被擠出形成凸起??梢圆扇〉慕鉀Q方法是:將銳角處加工成圓弧狀,或是估計(jì)凸起變形量的大小,預(yù)先加工成錐形。
(2)CVD沉積溫度高而帶來(lái)的尺寸和形狀變形
其變形程度取決于所選用的材料、形狀、沉積溫度、涂層厚度以及預(yù)備熱處理等。
在CVD處理過(guò)程中,尺寸變形小的材料是硬質(zhì)合金及含Cr高的不銹鋼系合金;沖壓加工領(lǐng)域使用的模具材料主要限于合金工具鋼、冷作模具鋼(CMoV)、硬質(zhì)合金等,其中快冷淬透鋼,由于快冷時(shí)容易產(chǎn)生翹曲、扭曲等變形,所以不宜進(jìn)行CVD處理;而高速鋼是熱處理膨脹較大的鋼種,使用時(shí)必須充分估計(jì)其膨脹變形量。

同時(shí),人們把另一類(lèi)氣相沉積,真空鍍膜設(shè)備,即通過(guò)高溫加熱金屬或金屬化合物蒸發(fā)成氣相,或者通過(guò)電子、等離子體、光子等荷能粒子的能量把金屬或化合物靶濺射出相應(yīng)的原子、離子、分子(氣態(tài)),在固體表面上沉積成固相膜,顯示屏真空鍍膜設(shè)備,其中不涉及到物質(zhì)的化學(xué)反應(yīng)(分解或化合),橡膠真空鍍膜設(shè)備,稱(chēng)為物相沉積PVD)。
隨著氣相沉積技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用,上述兩類(lèi)型氣相沉積各自都有新的技術(shù)內(nèi)容,兩者相互交叉,你中有我,我中有你,致使難以嚴(yán)格分清是化學(xué)的還是物理的。


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