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箱式氣氛爐產(chǎn)品特點(diǎn):可選擇進(jìn)口單設(shè)定點(diǎn)或40段可編程控制器。安全功能包括可調(diào)過溫保護(hù)及開門切斷加熱的安全鎖系統(tǒng)。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層外殼結(jié)構(gòu),具有升降溫速度快,上海PECVD管式爐生產(chǎn)廠家,能耗低。可將外表溫度降到常溫并使得內(nèi)腔溫度分布均勻。的加熱元件,使用壽命長。選配:帶排氣口和惰性氣體通入口。實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)通訊。 電氣部分電氣部分采用與爐體一體化結(jié)構(gòu),整個(gè)電氣元件安裝在爐體底部的一側(cè),結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小。溫控安裝在爐體側(cè)面板上,觀察直觀,調(diào)節(jié)方便,溫控儀具有pid調(diào)節(jié)功能,可自動(dòng)追蹤設(shè)定佳pid值,可任意設(shè)定測量分度密碼,同時(shí)具備補(bǔ)償功能,可使?fàn)t膛溫度與顯示值一致,控溫方式:采用德國技術(shù),上海PECVD管式爐生產(chǎn)廠家,具有軟啟動(dòng)、軟關(guān)斷、可控硅移相調(diào)壓控制,0~98%輸出可調(diào)節(jié),面板上各種儀表開關(guān)等有相應(yīng)的中文標(biāo)牌,上海PECVD管式爐生產(chǎn)廠家。真空箱式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和廈門宇電50段程序控溫系統(tǒng)。上海PECVD管式爐生產(chǎn)廠家

馬弗爐設(shè)備特點(diǎn)硅鉬棒:硅鉬棒通常可使用的爐體溫度為1600℃-1750℃,普遍應(yīng)用于冶金、玻璃、陶瓷、磁性材料、耐火材料、晶體、電子元器件、窯爐制造等領(lǐng)域、是產(chǎn)品高溫?zé)Y(jié)時(shí)必備的理想發(fā)熱元件。硅鉬棒在高溫氧化氣氛下,表面生成一層石英保護(hù)層防止硅鉬棒繼續(xù)氧化。當(dāng)元件溫度大于1700℃時(shí),石英保護(hù)層熔融,元件在氧化氣氛下,繼續(xù)使用,石英保護(hù)層重新生成。硅鉬棒不宜在400-700℃范圍內(nèi)長期使用,否則元件會(huì)因低溫的強(qiáng)烈氧化作用而粉化。汕尾CVD管式爐實(shí)驗(yàn)室多溫區(qū)管式爐爐膛若采用剛玉爐管,依據(jù)剛玉材料的物理性質(zhì),各溫區(qū)的升﹑降溫速率不宜過快(≤5℃)。

箱式氣氛爐 冷卻部分 爐門采用循環(huán)式水冷。設(shè)有進(jìn)出水接頭。電氣部分 電氣部分采用與爐體一體化結(jié)構(gòu),整個(gè)電氣元件安裝在爐體底部的一側(cè),結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小。溫控安裝在爐體側(cè)面板上,觀察直觀,調(diào)節(jié)方便,溫控儀具有PID調(diào)節(jié)功能,可自動(dòng)追蹤設(shè)定較佳PID值,可任意設(shè)定測量分度密碼,同時(shí)具備補(bǔ)償功能,可使?fàn)t膛溫度與顯示值一致,控溫方式:采用德國技術(shù),具有軟啟動(dòng)、軟關(guān)斷、可控硅移相調(diào)壓控制,0~98%輸出可調(diào)節(jié),面板上各種儀表開關(guān)等有相應(yīng)的中文標(biāo)牌。
PECVD管式爐的主要特點(diǎn):1.氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū),沉積速度更快,成膜效果更好;2.AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個(gè)7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控,協(xié)調(diào)控制——科探AIO控制系統(tǒng);3.管內(nèi)壓力自動(dòng)平衡——管內(nèi)壓力實(shí)時(shí)監(jiān)測,自動(dòng)平衡管內(nèi)壓力。4.智能氣路通斷——每路氣體均可定時(shí)通斷,省時(shí)省力;5.射頻功率和開關(guān)定時(shí)控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時(shí)間,自動(dòng)運(yùn)行;6.爐膛移動(dòng)速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求,用戶可設(shè)定爐膛左右移動(dòng)的速度可距離;7.整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——移動(dòng)方便,避免分散組裝的困擾。管式爐具有抗干擾能力強(qiáng),控制精度高,沖溫值小。

高溫爐的注意事項(xiàng)除了做實(shí)驗(yàn)外,不要停留在高溫爐管區(qū)。 實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí),若無人繼續(xù)使用,請(qǐng)關(guān)特殊氣體,保留N2流動(dòng),并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān)、煮酸用的小電爐或其它,請(qǐng)隨手關(guān)掉。 處理HF時(shí),請(qǐng)戴手套,如不小心碰到HF時(shí),請(qǐng)立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。 石英玻璃制品請(qǐng)小心使用,以免破裂,引起嚴(yán)重割傷。 避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。 化鉀(KCN)不可與酸類混置,因兩者可產(chǎn)生之KCN氣體。 一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時(shí),請(qǐng)立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。 請(qǐng)節(jié)約純水用量。 破晶片、濾紙、棉花棒,請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。 長短推桿之前端,在還沒使用到時(shí),請(qǐng)朝上以免污染。 晶片進(jìn)出爐口時(shí),請(qǐng)勿碰觸爐管口,以免污染爐管。箱式爐工作時(shí)入箱式爐的工件應(yīng)不超過爐底板.大載荷量,裝卸工件時(shí)應(yīng)確保電源斷開的情況下進(jìn)行。上海PECVD管式爐生產(chǎn)廠家
真空管式爐使用后,速度調(diào)節(jié)旋鈕應(yīng)旋轉(zhuǎn)回“0”,然后停止。上海PECVD管式爐生產(chǎn)廠家
多溫區(qū)管式爐使用方法使用惰性氣體作為工作氣體時(shí)1. 接通工作氣體氣路,將旋轉(zhuǎn)管式爐氣體出口端連接機(jī)械泵。2. 打開旋轉(zhuǎn)管式爐進(jìn)氣閥,合上真空泵電源,打開出氣閥(注意把住法蘭,避免爐管受力過大),抽空剛玉管和氣體管路。3. 當(dāng)旋轉(zhuǎn)管式爐真空表到-0.1(指針到盡頭時(shí)),關(guān)閉出氣閥,關(guān)閉進(jìn)氣閥。4. 逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕開氣瓶主閥,順時(shí)針旋動(dòng)旋鈕,緩慢打開出口減壓閥,使出口氣壓在0.004MPa(2小格)。5. 逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕,緩慢打開旋轉(zhuǎn)管式爐進(jìn)氣閥;密切注意旋轉(zhuǎn)管式爐氣壓表,確認(rèn)氣壓在0.08MPa以下(如氣壓高于0.08MPa,打開旋轉(zhuǎn)管式爐出氣閥放氣)。6. 旋轉(zhuǎn)管式爐氣壓表當(dāng)氣壓穩(wěn)定時(shí),關(guān)閉旋轉(zhuǎn)管式爐進(jìn)氣閥,打開出氣閥,抽真空到-0.1,關(guān)旋轉(zhuǎn)管式爐出氣閥。7. 重復(fù)4、5步兩次。8. 關(guān)機(jī)械泵,打開旋轉(zhuǎn)管式爐進(jìn)氣閥。上海PECVD管式爐生產(chǎn)廠家
深圳市迪斯普設(shè)備有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備,以科技創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)管理的追求。迪斯普設(shè)備作為鋰電池試驗(yàn)設(shè)備的研發(fā),生產(chǎn),銷售;給學(xué)校研究院(所)提供設(shè)備和工具及材料研究開發(fā)的手段;鋰電池測試數(shù)據(jù)的整理收集和鋰電池材料的性能改進(jìn)提升優(yōu)化;鋰電池安全性能的評(píng)估測試;進(jìn)出口業(yè)務(wù)和非標(biāo)設(shè)備的加工制造等!的企業(yè)之一,為客戶提供良好的鋰電池鈕扣設(shè)備,鋰電池18650圓柱設(shè)備,鋰電池聚合物軟包設(shè)備,馬氟爐,管式爐,球磨機(jī)。迪斯普設(shè)備繼續(xù)堅(jiān)定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路,既要實(shí)現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長,又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破。迪斯普設(shè)備始終關(guān)注自身,在風(fēng)云變化的時(shí)代,對(duì)自身的建設(shè)毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使迪斯普設(shè)備在行業(yè)的從容而自信。
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