高純氣體輸送重視配管 防塵 , 做好配管施 工 的 清沽管 理 , 對 防塵的措施可 能想出多種 , 必須從實(shí)際 工作做起 省先在切 斷 , 洗凈 , 焊接后等作業(yè) 結(jié)束時利用塑料薄膜或盲蓋 封好 , 而直至使 用時再次打開 不要放在灰塵發(fā)生的地方或 室外 切斷后切屑婆立 即去除 閥門的開閉 要迅速 ,燃?xì)夤艿赖獨(dú)庵脫Q, 一般應(yīng) 以 關(guān) 閉狀態(tài) 每 天 工 作結(jié)束 應(yīng)將現(xiàn)場打掃干凈 , 盡盤防止塵埃侵人 獲 配管的試驗(yàn) 、 檢查和分析 配管連接完 工 以 后 , 終工序之 一 的耐 壓試驗(yàn)和氣密性試驗(yàn) 以及檢查 和分析 , 其一 ,般程序如圖 所示 飛 氣密性和耐壓試驗(yàn)基本應(yīng)為同時并用 試 驗(yàn) , 試驗(yàn)條件以氣密性試驗(yàn)的 小時放置及 耐壓試驗(yàn)的設(shè)計壓力 倍進(jìn)行 同時進(jìn)行 用檢漏液 肥皂泡 試驗(yàn)的發(fā)泡確認(rèn) 另外 , 通過溫度補(bǔ)償?shù)膲?降殘余壓力 率 的標(biāo) 準(zhǔn) 即 以上 為合格 關(guān)于配管潔凈度 塵埃 測定應(yīng)為利用 實(shí) 際氣體 滁外 的測定 , 基本上 實(shí)施設(shè)備連 接取出用初級側(cè)閥門總數(shù)的 測定 , 求 出 平均值以判定是否合格 但在閥與測試儀器 連接 中間應(yīng)連接擴(kuò)散管以避免塵埃計數(shù)器損壞。 至于和含氧量及其它雜質(zhì)的分析 ,管道氮?dú)庵脫Q, 在有 純化裝 的場合應(yīng) 以 純化器 出 口 指標(biāo) 為基準(zhǔn) 在沒有現(xiàn) 場分析儀的 , 可通 過取樣 瓶取樣送驗(yàn) 。 但取樣瓶必須沽凈并在充灌時 予叔 充分里換 遴免任何形 式的沽污 , 以 確 保其實(shí)際值 全部試驗(yàn)合格后 , ’ 還應(yīng)對配管介質(zhì)標(biāo)注 名稱和流 向 一般不銹鋼配管不涂 漆 , 但非 不銹鋼支承物應(yīng)涂漆防銹后交付使用驗(yàn)收 三 、 高純氣體輸送系統(tǒng)的管理 高純氣翰送系統(tǒng)的建立不僅耗費(fèi)較大 的 投資和精力 , 更重要 的它對生產(chǎn)工藝和 產(chǎn) 品 合格率的影響是 巨大的, 要使高純化系統(tǒng)持 久地 發(fā) 揮 效 益 ,管道氮?dú)庵脫Q, 必 須重視 和 加 強(qiáng) 對 它 的 管 理 。 有條件的 , 建立系統(tǒng)的氣體分析盤或 監(jiān)控盤 , 用以監(jiān)視系統(tǒng) 的流食 , 壓力 , 礴點(diǎn)及 含氧盈 及 凡 以 及裝 置的工作 情況和 異 常報警 , 以便有問題時及時發(fā)現(xiàn) , 及時調(diào)整 建立和健全值班記錄制度 , 對 系 統(tǒng)和 裝 置運(yùn)行工況進(jìn)行記錄 。 定期對系統(tǒng)終端 使用端 進(jìn)行
{管道氮?dú)庵脫Q}所需要的氮?dú)鈿饬坑嬎?/b>
首先要知道管道的水容積,也就是體積。其次要知道你沖氮?dú)庖_(dá)到什么壓力,長輸管道氮?dú)庵脫Q,實(shí)際壓力比大氣壓再乘以體積就是所需的氮?dú)饬俊?/p>
氮?dú)庵脫Q:
可燃性氣體通過的管道或容器在使用前應(yīng)使用氮?dú)庵脫Q裝置。目的是置換出管道內(nèi)的空氣,避免可燃?xì)怏w與空氣中的氧氣形成可燃性混合物。危險進(jìn)可能造成內(nèi)燃或。氮?dú)庵脫Q設(shè)備包含:氮?dú)忏暯邮占八鶎倥浼暯邮铡⒌獨(dú)馄考捌嚥圮?。其間,氮?dú)馄亢筒圮嚹軌驎簳r向事端現(xiàn)場集結(jié)。
作為半導(dǎo)體晶圓代工廠氣體的使用者,每一位工作人員都應(yīng)該在使用前對各種危險氣體的數(shù)據(jù)加以了解,并且應(yīng)該知道如何應(yīng)對這些氣體外泄時的緊急處理程序。一般來講,我們將有三重保障來防范萬一有意外發(fā)生的危險氣體外泄進(jìn)入到工作環(huán)境中。一個是特種氣體的氣瓶以及全部經(jīng)過正負(fù)壓測漏的氣體輸送管路;第二個是持續(xù)不斷的排氣抽風(fēng)系統(tǒng)(Exhaust),管路節(jié)點(diǎn)如氣瓶柜、VMB、工作臺等均具有很強(qiáng)排氣抽風(fēng)系統(tǒng),以確保每一管路節(jié)點(diǎn)外圍都處于負(fù)壓環(huán)境。若發(fā)生微量的有毒氣體的泄漏,排氣抽風(fēng)系統(tǒng)將******時間抽出;另外一個很重要的是處于抽風(fēng)口或環(huán)境點(diǎn)的毒性氣體偵測器系統(tǒng),若發(fā)生任何有毒氣體的泄漏將會被氣體偵測系統(tǒng)所偵測到,這個控制系統(tǒng)將根據(jù)氣體外泄對人體危害的大小來確定整個氣體輸送系統(tǒng)的相關(guān)互鎖動作,嚴(yán)重時緊急關(guān)閉上游所有氣源,同時會驅(qū)動中央控制室和現(xiàn)場的相關(guān)報警系統(tǒng)LAU,甚至?xí)?qū)動全廠的自動語音廣播系統(tǒng)通知立即疏散,要求相關(guān)人員迅速撤離報警區(qū)域。因此只要工程技術(shù)人員嚴(yán)格按照所制定的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序操作,所有這些裝置都將確保人員不會有上的顧慮。
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