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復合式:
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域籠蓋使?jié)崈舳鹊燃夁M步至10級以上,安徽無塵車間,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)用度。此型式需將功課職員之 工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈地道另有二項長處:A.彈性擴充輕易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動出產(chǎn)線包抄并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔 凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化出產(chǎn)線為相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導體業(yè)界均合用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級進步為10~1000級以上,認為出產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

工業(yè)除塵設(shè)備在生產(chǎn)過程中常出現(xiàn)設(shè)備運行阻力偏高的情況,導致除塵效率降低,濾袋壽命縮短。什么導致工業(yè)除塵設(shè)備的壓差過大?
除塵設(shè)備運行阻力由本體、濾袋及吸附在濾袋上的粉塵等三部分引起。結(jié)構(gòu)設(shè)計差異、濾料材質(zhì)、過濾風速、氣體含塵濃度、粉塵粒度、氣體濕度等因素對除塵器運行阻力影響較大。
結(jié)構(gòu)設(shè)計不合理會使設(shè)備運行阻力偏高,合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計其本體阻力在400Pa左右。建議進出風道風速應(yīng)小于15m/s,工業(yè)除塵凈化設(shè)備,以10m/s左右風速為。各袋室進出風支管風速應(yīng)小于10m/s,既利于均風又可降低阻力。

除塵器在高溫煙氣除塵過程中,必須避免多臺布袋除塵器并聯(lián)組成一個除塵系統(tǒng),以免停用其中的一臺,因通煙道上的閥門關(guān)閉不嚴就會導致漏煙,煙量少降溫快,十萬級無塵車間,使內(nèi)部發(fā)生煙i塵滯留、冷凝堆積起來,這是危險的。
除塵器溫度低,和煙氣溫度相差很大,i煙氣進入除塵器時,煙氣降溫除塵器升溫這一過程,露i點是必經(jīng)之路,必然在濾料上引起冷凝。因而,三十萬級無塵車間,除塵器的外殼必須保溫,無塵車間施工,在通煙氣前應(yīng)予以預(yù)熱,緩慢預(yù)熱到略低于煙氣溫度,然后保持穩(wěn)定,可快速大量通入煙氣。在不得已時,不能做到預(yù)熱,應(yīng)當采用大量通入煙氣的辦法,但事先必須控制煙溫終不得高于濾料的工作溫度。


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