進口氣體質(zhì)量流量計-厚禮博北京精密儀器

什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowCooller(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Cooller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，進口氣體質(zhì)量流量計說明書，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，進口氣體質(zhì)量流量計，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復(fù)性好。

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如何提高流量控制器的準(zhǔn)確度？

提高氣體質(zhì)量流量控制器實用準(zhǔn)確度的措施為：

1.針對氣體質(zhì)量流量控制器的實際工藝參數(shù)，對該流量計進行“個性化標(biāo)準(zhǔn)”，進口氣體質(zhì)量流量計分類，從而實現(xiàn)在實際使用流量點的一定范圍內(nèi)，該氣體質(zhì)量流量控制器的實際測量誤差(與標(biāo)準(zhǔn)值的差)趨于零。

2.把好氣體質(zhì)量流量控制器的安裝環(huán)節(jié)，減少或機械應(yīng)力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。

3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質(zhì)量流量控制器測量準(zhǔn)確度的影響。

4.把好氣體質(zhì)量流量控制器的投用關(guān)。

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流量控制器的性能參數(shù)

流量控制器的特點是：當(dāng)自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時，通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數(shù)有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差

工作壓差范圍指的是當(dāng)流量控制器進口、出口壓差變化在多大范圍時，能保持通過流量控制器的流量恒定不變。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定工作壓差范圍0.03－0.3MPa，A類產(chǎn)品工作壓差范圍達到0.03－0.4MPa。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設(shè)計。

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