TV－2KG 分子泵系統(tǒng)
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·最典型應(yīng)用－針對(duì)薄膜沉積設(shè)備而特別設(shè)計(jì)的抽氣系統(tǒng)
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·是目前性能，造型最緊湊的機(jī)型
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·型的一體式抽氣理念，旨在實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)量和最短停機(jī)時(shí)間
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系統(tǒng)界面
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·一體化 的機(jī)型包括了渦輪分子泵，驅(qū)動(dòng)配置，供電電源配置，氣體保護(hù)配置機(jī)通信配置
| ·通用 的電子接口，便于用戶使用控制軟件
| ·模擬I/O信號(hào)，標(biāo)配為RS232或RS485接口
| ·可選配Varian 通用總線控制接口
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| 應(yīng)用知識(shí)
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·在特定的應(yīng)用領(lǐng)域，通用產(chǎn)品無法滿足性能要求
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·TV－2KG是應(yīng)廣大用戶的真實(shí)需求而開發(fā)，可實(shí)現(xiàn)用戶滿意度
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·配備獨(dú)特，為工業(yè)鍍膜行業(yè)量身定做
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·滿足工業(yè)生產(chǎn)的工藝要求，得到工業(yè)界的認(rèn)同
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供貨鏈及物流
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·通過有效的組織和計(jì)劃，保證了在最合適的時(shí)間和地點(diǎn)提供配件，減少用戶在當(dāng)?shù)氐膸?kù)存
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·供貨鏈上各種相關(guān)產(chǎn)品能周轉(zhuǎn)，用戶只備少量庫(kù)存亦可應(yīng)付自如
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·Varian的客戶服務(wù)組織采用的SAP系統(tǒng)，在共同運(yùn)作
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監(jiān)測(cè)及故障診斷
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·具備自診斷功能
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·實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)分子泵的各項(xiàng)參數(shù)，包括振動(dòng)圖譜
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·借助簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)連接，Varian的服務(wù)組織可以為您提供實(shí)時(shí)服務(wù)
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·主動(dòng)的維護(hù)計(jì)劃使分子泵的使用壽命及無故障運(yùn)行時(shí)間大大延長(zhǎng)
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完善的支持
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·設(shè)有免費(fèi)的熱線電話，為您提供實(shí)時(shí)全程服務(wù)
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·各地的Varian代表使用您熟悉的語言與您溝通，為您提供技術(shù)/應(yīng)用/訂貨/工程等方面的支持
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·提供最廣泛的服務(wù)計(jì)劃，即使苛刻的需求您也可以得到專門周到的服務(wù)
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鍍膜領(lǐng)域的應(yīng)用包括
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·建筑玻璃鍍膜，汽車玻璃鍍膜，太陽能玻璃鍍膜
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·平板顯示屏鍍膜
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·光學(xué)及電磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)產(chǎn)品的鍍膜，如讀寫探頭
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·用于增強(qiáng)耐磨性能的表面處理
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·用于眼科透鏡的光學(xué)鍍膜及用于光學(xué)數(shù)據(jù)傳輸上的慮光鏡鍍膜
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·制備功能性薄膜及裝飾型鍍膜，包括金屬化膜層
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·可應(yīng)用于食品工業(yè)，包裝業(yè)及電子產(chǎn)品行業(yè)的卷繞鍍膜
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·可應(yīng)用于氣載叫道的PVD及其它等離子體工藝設(shè)備
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可靠的設(shè)計(jì)
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TV－2KG身為分子泵的一員，但性能更勝過普通分子泵，它是專為等離子體工藝領(lǐng)域設(shè)計(jì)開發(fā)的抽氣系統(tǒng)。事實(shí)上，TV－2KG的各抽氣級(jí)甚至整個(gè)泵的結(jié)構(gòu)，都是以能在較高氬氣負(fù)載和溫度條件下保持抽氣性能為目標(biāo)來優(yōu)化設(shè)計(jì)的，它的電路系統(tǒng)具有更多附加特性，泵內(nèi)還集成了放氣和抽氣閥門，其軸承具有免維護(hù)特性，這些優(yōu)點(diǎn)無疑使TV－2KG成為應(yīng)用在鍍膜行業(yè)的的分子泵。
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獨(dú)特的拖動(dòng)級(jí)設(shè)計(jì)
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TV－2KG雖然外形緊湊，但其拖動(dòng)級(jí)的獨(dú)特設(shè)計(jì)確保了在高原強(qiáng)下對(duì)氬氣抽氣使仍保持大抽氣量。拖動(dòng)級(jí)由一體化的兩層盤片組成，這樣的設(shè)計(jì)大大提高了散熱效率 ，因而程度地降低了泵高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的內(nèi)部溫度。
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內(nèi)置的充氣及放氣裝置
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TV－2KG將充氣及放氣閥集成于泵內(nèi)，為首例。充氣保護(hù)及放氣過程的控制都由內(nèi)部電路驅(qū)動(dòng)完成，不再需要任何部件置于泵體外部。分子泵在這樣周到的保護(hù)下，不易受到外部沖擊和污染的損傷，因而限度地延長(zhǎng)了使用壽命。
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免維護(hù)
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TV－2KG系統(tǒng)配置了Varian獨(dú)有地軸承和無油潤(rùn)滑系統(tǒng)，可免維護(hù)長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)。另外，它可任意位置安裝，而絲毫不會(huì)降低其性能和壽命。
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內(nèi)置的溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
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TV－2KG配備了特別的溫度控制系統(tǒng)，使其能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控泵的氣載，功率，及冷卻水溫度，確保了材料負(fù)荷及軸承負(fù)荷在安全范圍內(nèi)工作。
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內(nèi)置型具有防水性能的電路系統(tǒng)
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TV－2KG所有的電路系統(tǒng)，都置于泵的底殼內(nèi)，具有防水特性，符合IP54規(guī)范。借助微處理器的強(qiáng)大功能，TV－2KG的控制接口能與外部控制系統(tǒng)方便地連接，并通過一臺(tái)筆記本電腦和Nigator軟件輕松實(shí)現(xiàn)各種控制。
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分子泵選型指南
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分子泵
| 產(chǎn)品型號(hào)
| V70
| V70D
| V70LP
| V301
| V551
| V701
| V1001
| V2000HT
| V6000
| 轉(zhuǎn)速 rpm
| 75000
| 75000
| 75000
| 56000
| 42000
| 42000
| 38000
| 33000
| 14000
| 進(jìn)氣口法蘭 DN
| 40/63
| 40/63
| 40/63
| 100/160
| 100/160
| 200
| 160/200/250
| 250
| 500
| 出氣口法蘭DN
| 16
| 16
| 16
| 16
| 25
| 25
| 40
| 40
| 100
| 抽速 N 2 L/s
| 46/68
| 40/60
| 46/68
| 250/280
| 350/550
| 690
| 790/950/1050
| 1950
| 6000
| 壓縮比 N2
| 5×107
| 5×107
| 5×108
| 7×108
| ＞1×109
| 1×109
| 1×109
| ＞1×109
| ＞1×1010
| 極限壓強(qiáng) mbar
| 1×10-9
| ＜1×10-9
| ＜2×10-10
| ＜5×10-10
| ＜1×10-10
| ＜1×10-10
| ＜1×10-10
| 1×10-10
| ＜1×10-10
| 啟動(dòng)時(shí)間 min
| ＜ 1
| ＜ 1
| ＜ 1
| 2.5
| ＜ 5
| ＜ 5
| ＜ 4
| 10
| 30
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