天津高分辨透射電鏡分析-天津市9d實(shí)驗(yàn)室(圖)

全自動掃描電子顯微鏡是生產(chǎn)工藝中的關(guān)鍵設(shè)備

全自動掃描電子顯微鏡是一款全自動、無損顯微分析系統(tǒng)，可針對幾乎所有無機(jī)材料和部分有機(jī)材料，迅速提供在統(tǒng)計(jì)學(xué)上可靠且可重復(fù)的礦物學(xué)、巖相學(xué)和冶金學(xué)數(shù)據(jù)，在業(yè)，全自動掃描電子顯微鏡可用于礦產(chǎn)勘查、礦石表征和選礦工藝優(yōu)化。在石油和行業(yè)，對鉆井巖屑和巖心試樣進(jìn)行顯微分析，從而降低風(fēng)險(xiǎn)并提高采收率。在煤炭行業(yè)，利用該系統(tǒng)自動分析煤、煤粉和煤燃燒產(chǎn)物，可以更好地了解煤燃燒和廢物利用情況。

由于高能電子與物質(zhì)的相互作用，結(jié)果在試樣上產(chǎn)生各種信息如二次電子、背反射電子、俄歇電子、X射線、陰發(fā)光、吸收電子和透射電子等。因?yàn)閺脑嚇又兴玫礁鞣N信息的強(qiáng)度和分布各自同試樣表面形貌、成分、晶體取向、以及表面狀態(tài)的一些物理性質(zhì)（如電性質(zhì)、磁性質(zhì)等）等因素有關(guān)，因此，通過接收和處理這些信息，就可以獲得表征試樣形貌的掃描電子像，或進(jìn)行晶體學(xué)分析或成分分析。

在全自動掃描電子顯微鏡應(yīng)用中，很多集中在半導(dǎo)體器件和集成電路方面，它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時(shí)局部表面電壓變化的實(shí)際情況，這是因?yàn)檫@種變化會帶來象的反差的變化，焊接開裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。

掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)

為透射電鏡是TE進(jìn)行成像的，這就要求樣品的厚度一定要確保在電子束可以穿透的尺寸范圍內(nèi)。因此就需要通過各種較為繁雜的樣品制備手段把大尺寸樣品轉(zhuǎn)變到透射電鏡能給接受的程度。

　　可不可以直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像，成為科學(xué)家追求的目標(biāo)。

　　通過努力，這種想法已成為現(xiàn)實(shí)——掃描電子顯微鏡(ScanningElectronicMicroscopy，SEM)。

　　掃描電子顯微鏡（SEM）——運(yùn)用特別細(xì)的電子束在被觀測樣品表面上進(jìn)行掃描，通過分別收集電子束和樣品相互作用產(chǎn)生的一系列電子信息，通過轉(zhuǎn)換、放大而成像的電子光學(xué)儀器。是探索研究三維表層構(gòu)造很有幫助的工具。

需要熟悉的掃描電鏡基本操作

基本操作包括熟練的調(diào)節(jié)對焦和消像散。對焦相對容易，改變焦距，直至圖像清楚的時(shí)刻即為合焦。在偏離焦距較多的時(shí)候可以用較高的靈敏度，在合焦點(diǎn)附近調(diào)低靈敏度，以便進(jìn)行準(zhǔn)確對焦。

基本操作中消像散相對來說比較麻煩，特別是像散很大時(shí)，對于很多初學(xué)者來說調(diào)節(jié)比較困難。不過前面已經(jīng)介紹了像散的產(chǎn)生，電子束由于不再是圓形，所以在像散未的情況下，圖像是不清晰的。不過其中有兩個(gè)特殊的位置，即光學(xué)中的子午和弧矢，在這兩個(gè)位置上束斑完全成正交的直線。而明晰圓一般在弧矢和子午的中間。

有關(guān)拉伸方向的判斷并不困難，天津高分辨透射電鏡分析，試樣中的各種特征點(diǎn)都可以作為判斷依據(jù)，尤其在像散比較大時(shí)，不要焦距和像散的兩個(gè)維度亂調(diào)一氣，以免像散過大而完全無從判斷。