清遠掃描電鏡測試-9d實驗室電鏡分析-掃描電鏡測試機構(gòu)

掃描電子顯微鏡的操作 　　1. 安裝樣品　　1) 按“Vent ”直至燈閃，對樣品交換室放氮氣，掃描電鏡測試中心，直至燈亮；　　2) 松開樣品交換室鎖扣，打開樣品交換室，取下原有的樣品臺，將已固定好樣品的樣品臺，放到送樣桿末端的卡抓內(nèi)（注意：樣品高度不能超過樣品臺高度，并且樣品臺下面的螺絲不能超過樣品臺下部凹槽的平面）；　　3) 關(guān)閉樣品交換室門，扣好鎖扣；　　4) 按“EVAC ”按鈕，開始抽真空，“EVAC ”閃爍，待真空達到一定程度，“EVAC ”點亮；　　5) 將送樣桿放下至水平，向前輕推至送樣桿完全進入樣品室，無法再推動為止，掃描電鏡測試機構(gòu)，確認“Hold ”燈點亮， 將送樣桿向后輕輕拉回直至末端臺階露出導板外將送樣桿豎起卡好。（注意：推拉送樣桿時用力一定要沿送樣桿軸線方向，以防損壞送樣桿）

掃描電鏡成像原理及信號及應(yīng)用

(1)表面形貌襯度原理：利用二次電子特性進行成像，二次電子數(shù)量和原子序數(shù)無明顯的關(guān)系，但對微區(qū)表面的幾何形狀十分敏感。

被入射電子束激發(fā)出的二次電子數(shù)量和原子序數(shù)沒有明顯的關(guān)系，但是二次電子對微區(qū)表面的幾何形狀十分敏感。上圖說明了樣品表面和電子束相對位置與二次電子產(chǎn)額之間的關(guān)系。入射束與樣品表面法線相平行時，即圖中a），清遠掃描電鏡測試，二次電子的產(chǎn)額少。若樣品傾斜了45度，掃描電鏡測試費用，則電子束穿入樣品激發(fā)二次電子的有效深度增加了1.414倍，入射電子激發(fā)表面的二次電子數(shù)量增多（黑域）。同理，樣品傾斜了60度，則有效深度增加了2倍，產(chǎn)生的二次電子數(shù)量進一步增加。

掃描電鏡原理

掃描電鏡是用電子束作為激發(fā)源，利用電子束撞擊樣品的表面，產(chǎn)生各種訊號來進行影像觀察丶成分分析等各種工作。當電子束撞擊樣品時會產(chǎn)生二次電子與背散電子，由於二次電子能量很低，只有50eV左右，因此只有樣品表面約5~10nm范圍所產(chǎn)生的訊號能夠逃離樣品表面，而被二次電子偵測器偵測到。因此二次電子訊號可以做為樣品表面立體凹凸影像觀察的來源。而電子束束班很小，可以到達奈米級別，因此掃描電子顯微鏡的解析度可以達到奈米級別以上。