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掃描電鏡的主要特點
放大倍率高
從幾十放大到幾十萬倍,連續(xù)可調(diào)。放大倍率不是越大越好,要根據(jù)有效放大倍率和分析樣品的需要進行選擇。如果放大倍率為M,人眼分辨率為0.2mm,儀器分辨率為5nm,則有效放大率M=0.2′106nm?5nm=40000(倍)。如果選擇高于40000倍的放大倍率,不會增加圖像細節(jié),投射電鏡分析哪家好,只是虛放,一般無實際意義。放大倍率是由分辨率制約,不能盲目看儀器放大倍率指標(biāo)。
分辨率高
分辨率指能分辨的兩點之間的距離。分辨率d可以用貝克公式表示:d=0.61l/nsina ,a為透鏡孔徑半角,l為照明樣品的光波長,n為透鏡與樣品間介質(zhì)折射率。對光學(xué)顯微鏡 a=70°-75°,n=1.4。因為 nsina<1.4,投射電鏡分析中心,而可見光波長范圍為: l=400nm-700nm ,所以光學(xué)顯微鏡分辨率 d@0.5l ,顯然 d >200nm。要提高分辨率可以通過減小照明波長來實現(xiàn)。SEM是用電子束照射樣品,電子束是一種De Broglie波,具有波粒二相性,l=12.26/V0.5(伏) ,如果V=20kV時,則l=0.0085nm。目前用W燈絲的SEM,分辨率已達到3nm-6nm, 場發(fā)射源SEM分辨率可達到1nm 。高分辨率的電子束直徑要小,分辨率與子束直徑近似相等。

臺式掃描電鏡操作步驟
1、啟動并放入樣品,將真空抽至0.01并保持至按鈕常亮后,然后點擊按鈕
2、按照需要設(shè)定電壓值。并將“光斑直徑”調(diào)整至“粗”或者“中”,勾選“自適應(yīng)”按鈕,調(diào)整“亮度”“對比度”,至出現(xiàn)較為明亮的圖像。后粗調(diào)“聚焦”條,濟南投射電鏡分析,至顯示較為清晰的圖像,然后將樣品臺移動到想要拍照的樣品上。
3、低倍數(shù)下有了較為清晰圖像后。將倍數(shù)放大至大于要拍攝倍數(shù)后(比如要拍攝1000倍,放大至5000或10000),將“平均”點數(shù)切換至5,然后將光標(biāo)放至“聚焦微調(diào)”圓鈕上,緩慢滾動滾輪,投射電鏡分析費用,調(diào)整至圖像清晰位置。然后切換至“鏡組配置”,依次調(diào)整四個“消像散”條,至圖像清晰為止。

掃描電子顯微鏡是檢測樣品表面形貌的大型儀器。當(dāng)具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時,電子與元素核和外層電子發(fā)生一次或多次彈性和非彈性碰撞。一些電子被樣品表面反射,而其余電子則穿透樣品,逐漸失去動能,后停止運動而被樣品吸收。在這個過程中,百分之99以上的入射電子能量轉(zhuǎn)化為樣品熱能,剩余約百分之1的入射電子能量激發(fā)樣品的各種信號。這些信號主要包括二次電子、背散射電子、吸收電子、透射電子、俄歇電子、電子電動勢、陰ji發(fā)光、X射線等。掃描電鏡設(shè)備利用這些信號獲取信息來分析樣品。


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