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桌面掃描電鏡的成像原理
1. 光學(xué)顯微鏡
光學(xué)顯微鏡主要由目鏡、物鏡、載物臺(tái)和反射鏡組成。目鏡和物鏡都是焦距不同的凸透鏡。物鏡凸透鏡的焦距小于目鏡凸透鏡的焦距。物鏡相當(dāng)于投影儀的鏡頭,物體通過物鏡變成倒置、放大的實(shí)像。目鏡相當(dāng)于普通的放大鏡,實(shí)像通過目鏡變成直立、放大的虛像。
從顯微鏡到人眼的物體都是倒置放大的虛像。鏡子用于反射和照亮被觀察的物體。鏡子一般有兩個(gè)反射面:一個(gè)是平面鏡,在光線較強(qiáng)時(shí)使用;另一種是凹面鏡,在光線較弱時(shí)使用,可以將光線會(huì)聚。
2.電子顯微鏡
電子顯微鏡是根據(jù)電子光學(xué)原理,利用電子束和電子透鏡代替光束和光學(xué)透鏡,從而可以在很高的放大倍數(shù)下對(duì)物質(zhì)的精細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行成像的一種儀器。

透射電鏡TEM和臺(tái)式掃描電鏡SEM的差異有哪些?
結(jié)構(gòu)差異:
主要體現(xiàn)在樣品在電子束光路中的位置不同。透射電鏡TEM的樣品在電子束中間,電子源在樣品上方發(fā)射電子,經(jīng)過聚光鏡,然后穿透樣品后,有后續(xù)的電磁透鏡繼續(xù)放大電子光束,然后投影在熒光屏幕上;臺(tái)式掃描電鏡SEM的樣品在電子束末端,電子源在樣品上方發(fā)射的電子束,經(jīng)過幾級(jí)電磁透鏡縮小,環(huán)境場(chǎng)掃描電鏡測(cè)試哪家好,到達(dá)樣品。當(dāng)然后續(xù)的信號(hào)探測(cè)處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)也會(huì)不同,但從基本物理原理上講沒什么實(shí)質(zhì)性差別。
相同之處:都是電真空設(shè)備,使用絕大部分部件原理相同,例如電子,磁透鏡,各種控制原理,消象散,合軸等等。
基本工作原理:
透射電鏡TEM:電子束在穿過樣品時(shí),會(huì)和樣品中的原子發(fā)生散射,樣品上某一點(diǎn)同時(shí)穿過的電子方向是不同,這樣品上的這一點(diǎn)在物鏡1-2倍焦距之間,這些電子通過過物鏡放大后重新匯聚,環(huán)境場(chǎng)掃描電鏡測(cè)試費(fèi)用,形成該點(diǎn)一個(gè)放大的實(shí)像,這個(gè)和凸透鏡成像原理相同。這里邊有個(gè)反差形成機(jī)制理論比較深就不講,但可以這么想象,如果樣品內(nèi)部是均勻的物質(zhì),沒有晶界,沒有原子晶格結(jié)構(gòu),張家口環(huán)境場(chǎng)掃描電鏡測(cè)試,那么放大的圖像也不會(huì)有任何反差,環(huán)境場(chǎng)掃描電鏡測(cè)試機(jī)構(gòu),事實(shí)上這種物質(zhì)不存在,所以才會(huì)有這種牛逼儀器存在的理由。

透射電鏡TEM和掃描電鏡SEM的結(jié)構(gòu)差異:
主要體現(xiàn)在樣品在電子束光路中的位置不同。透射電鏡的樣品在電子束中間,電子源在樣品上方發(fā)射電子,經(jīng)過聚光鏡,然后穿透樣品后,有后續(xù)的電磁透鏡繼續(xù)放大電子光束,然后投影在熒光屏幕上;掃描電鏡的樣品在電子束末端,電子源在樣品上方發(fā)射的電子束,經(jīng)過幾級(jí)電磁透鏡縮小,到達(dá)樣品。當(dāng)然后續(xù)的信號(hào)探測(cè)處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)也會(huì)不同,但從基本物理原理上講沒什么實(shí)質(zhì)性差別。
相同之處:都是電真空設(shè)備,使用絕大部分部件原理相同,例如電子,磁透鏡,各種控制原理,消象散,合軸等等。


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