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掃描電鏡的結(jié)構(gòu)及工作原理
臺(tái)式掃描電鏡與傳統(tǒng)的大型掃描電子顯微鏡相比,臺(tái)式掃描電子顯微鏡具有體積小、操作簡(jiǎn)單、價(jià)格低廉、抽真空速度快等優(yōu)點(diǎn)。臺(tái)式掃描電子顯微鏡的分辨率可以滿足大多數(shù)材料的顯微觀察。臺(tái)式掃描電鏡填補(bǔ)了光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電鏡之間的分辨率的空白,可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米粒子、生物醫(yī)學(xué)、食品、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。接下來澤攸小編將主要介紹一下掃描電鏡的結(jié)構(gòu)及工作原理。
掃描電子顯微鏡是檢測(cè)樣品表面形貌的大型儀器。當(dāng)具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時(shí),電子與元素核和外層電子發(fā)生一次或多次彈性和非彈性碰撞。一些電子被樣品表面反射,而其余電子則穿透樣品,逐漸失去動(dòng)能,在Z后停止運(yùn)動(dòng),被樣品吸收。在這個(gè)過程中,99%以上的入射電子能量轉(zhuǎn)化為樣品熱能,剩余約1%的入射電子能量激發(fā)樣品的各種信號(hào)。如圖1所示,這些信號(hào)主要包括二次電子、背散射電子、吸收電子、透射電子、俄歇電子、電子電動(dòng)勢(shì)、陰極發(fā)光、X射線等。掃描電子顯微鏡設(shè)備使用這些信號(hào)來獲取信息來分析樣品。

透射電鏡TEM和掃描電鏡SEM的結(jié)構(gòu)差異:
主要體現(xiàn)在樣品在電子束光路中的位置不同。透射電鏡的樣品在電子束中間,天津透射電鏡分析機(jī)構(gòu),電子源在樣品上方發(fā)射電子,經(jīng)過聚光鏡,天津透射電鏡分析費(fèi)用,然后穿透樣品后,有后續(xù)的電磁透鏡繼續(xù)放大電子光束,然后投影在熒光屏幕上;掃描電鏡的樣品在電子束末端,電子源在樣品上方發(fā)射的電子束,經(jīng)過幾級(jí)電磁透鏡縮小,到達(dá)樣品。當(dāng)然后續(xù)的信號(hào)探測(cè)處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)也會(huì)不同,但從基本物理原理上講沒什么實(shí)質(zhì)性差別。
相同之處:都是電真空設(shè)備,使用絕大部分部件原理相同,天津透射電鏡分析,例如電子,磁透鏡,各種控制原理,消象散,合軸等等。

掃描電子顯微鏡SEM 基本參數(shù)
放大率:通過控制掃描區(qū)域的大小來控制放大率的。如果需要更高的放大率,只需要掃描更小的一塊面積就可以了。放大率由屏幕/照片面積除以掃描面積得到
場(chǎng)深:掃描電子顯微鏡SEM中,位于焦平面上下的一小層區(qū)域內(nèi)的樣品點(diǎn)都可以得到良好的會(huì)焦而成象。這一小層的厚度稱為場(chǎng)深,通常為幾納米厚,所以,SEM可以用于納米級(jí)樣品的三維成像。
工作距離:工作距離指從物鏡到樣品高點(diǎn)的垂直距離。
如果增加工作距離,可以在其他條件不變的情況下獲得更大的場(chǎng)深。
如果減少工作距離,則可以在其他條件不變的情況下獲得更高的分辨率。
通常使用的工作距離在5毫米到10毫米之間


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