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透射電鏡TEM和掃描電鏡SEM的基本工作原理:
透射電鏡TEM:電子束在穿過樣品時(shí),會(huì)和樣品中的原子發(fā)生散射,樣品上某一點(diǎn)同時(shí)穿過的電子方向是不同,這樣品上的這一點(diǎn)在物鏡1-2倍焦距之間,這些電子通過過物鏡放大后重新匯聚,電鏡測(cè)試中心,形成該點(diǎn)一個(gè)放大的實(shí)像,電鏡測(cè)試,這個(gè)和凸透鏡成像原理相同。這里邊有個(gè)反差形成機(jī)制理論比較深就不講,但可以這么想象,電鏡測(cè)試價(jià)格,如果樣品內(nèi)部是均勻的物質(zhì),沒有晶界,沒有原子晶格結(jié)構(gòu),電鏡測(cè)試哪家好,那么放大的圖像也不會(huì)有任何反差,事實(shí)上這種物質(zhì)不存在,所以才會(huì)有這種牛逼儀器存在的理由。經(jīng)過物鏡放大的像進(jìn)一步經(jīng)過幾級(jí)中間磁透鏡的放大(具體需要幾級(jí)基本上是由電子束亮度決定的,如果亮度大,由貝瑞利的光學(xué)儀器分辨率公式?jīng)Q定),然后投影在熒光屏上成像。由于透射電鏡物鏡焦距很短,也因此具有很小的像差系數(shù),所以透射電鏡TEM具有非常高的空間分辨率,0.1-0.2nm,但景深比較小,對(duì)樣品表面形貌不敏感,主要觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

環(huán)境對(duì)臺(tái)式掃描電子顯微鏡產(chǎn)生的影響
1、灰塵的影響
如果臺(tái)式掃描電子顯微鏡的導(dǎo)軌、鏡頭和電源等電子元件沾上了太多塵埃物質(zhì),就會(huì)對(duì)臺(tái)式掃描電子顯微鏡的精度、成像造成嚴(yán)重影響,導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確,并且還會(huì)加快硬件的磨損,所以一定要定期清潔,注意衛(wèi)生。
2、油污的影響
如果臺(tái)式掃描電子顯微鏡的導(dǎo)軌、鏡頭、平面玻璃和電源等電子元件都不能沾染油污,會(huì)大大縮短儀器的使用壽命,在觸摸臺(tái)式掃描電子顯微鏡的時(shí)候要戴棉質(zhì)手套。
3、光照的影響
臺(tái)式掃描電子顯微鏡不能直接對(duì)著太陽直射,也不能放在陽臺(tái)很強(qiáng)的位置,否則會(huì)影響臺(tái)式掃描電子顯微鏡精度,長(zhǎng)時(shí)間溫度過高還會(huì)損壞臺(tái)式掃描電子顯微鏡。

掃描電子顯微鏡(SEM)之樣品處理的要求1、樣品表面須導(dǎo)電。 在大多數(shù)情況下,初級(jí)電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和,因此多余的電子須導(dǎo)入地下,即樣品表面電位須保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電,或者樣品接地線斷裂,那么樣品表面靜電荷存在,使得表面負(fù)電勢(shì)不斷增加,出現(xiàn)充電效應(yīng),使圖像畸變,入射電子束減速,此時(shí)樣品如同一個(gè)電子平面鏡。 2、在某些情況下,樣品制備變成重要的考慮因素。 若要檢測(cè)觀察弱反差機(jī)理,就須強(qiáng)反差機(jī)理(例如,形貌反差),否則很難檢測(cè)到弱的反差。當(dāng)希望EBSD背散射電子衍射反差,I和II型磁反差或其他弱反差機(jī)理時(shí),磁性材料的磁疇特性須樣品的形貌。采用化學(xué)拋光,電解拋光等,產(chǎn)生一個(gè)幾乎形貌的鏡面。


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