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天津金屬樣品電鏡分析-9d實驗室電鏡測試

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臺式掃描電鏡觀察厚試樣

  臺式掃描電鏡可以獲得高分辨率和真實的厚樣品形貌掃描電子顯微鏡的分辨率介于光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間,但在比較厚樣品的觀察時,由于透射電子顯微鏡也采用層壓法,層壓的分辨率通常只有10nm,而且觀察的不是樣品本身。因此,用掃描電鏡觀察厚樣品,獲得樣品的真實表面數據更為有利。

  臺式掃描電鏡觀察試樣區(qū)域細節(jié)

  試樣在樣品室中可動的范圍非常大,天津金屬樣品電鏡分析,而顯微鏡在其它方面的工作距離通常只有2-3cm,因此實際上,只有試樣可以在二維空間中移動,但在臺式掃描電子顯微鏡中是不同的由于工作距離大(可能大于20 mm)焦深大(比TEM大10倍)樣品室的空間也很大因此,試樣在三維空間(即三維平移、三維旋轉)可以有六個自由度的運動而且具有較大的活動范圍,便于觀察不規(guī)則形狀樣品的各個區(qū)域。


臺式掃描電鏡觀察材料斷口

  臺式掃描電鏡的另一個重要特點是景深大,圖像立體掃描電鏡的透射電鏡是光學顯微鏡的10倍由于圖像景深較大,獲得的掃描電子圖像具有三維感強、形狀三維等特點,比其他顯微鏡能提供更多的信息,對用戶有很大的價值掃描電鏡所表明斷裂形態(tài)從深層和高景深的角度反映了材料斷裂的性質,在教學科研和生產中具有的作用,是材料斷裂原因分析、事故原因分析、工藝合理性確定等方面的有力工具。

  臺式掃描電鏡觀察大試樣的原始表面

  臺式掃描電子顯微鏡可以直接觀察直徑為100毫米、高度為50毫米或更大尺寸的樣品,不受樣品形狀的限制,也可以觀察到粗糙的表面,避免了樣品制備的麻煩并能真實觀察樣品本身不同物質成分的對比度。


電磁透鏡

熱發(fā)射電子需要電磁透鏡才能形成光束,因此電磁透鏡對于使用熱發(fā)射電子的SEM來說是的。通常組裝兩個組:

會聚透鏡:顧名思義,會聚透鏡使用會聚電子束,組裝在真空柱中,位于電子下方。通常不止一個,并且有一組會聚光圈與之匹配。 但是,會聚透鏡僅用于會聚電子束,與成像焦點無關。

物鏡:物鏡是真空柱底部的電磁透鏡,負責將電子束的焦點會聚到樣品表面。


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