天津環(huán)境場(chǎng)掃描電鏡分析-天津9d實(shí)驗(yàn)室

使用臺(tái)式掃描電鏡拍攝低倍圖像方法

1、啟動(dòng)并放入樣品，將真空抽至0.01并保持至開按鈕常亮后，然后點(diǎn)擊開按鈕。

2、按照需要設(shè)定電壓值。并將'光斑直徑'調(diào)整至'粗'或者'中'，勾選'自適應(yīng)'按鈕，調(diào)整'亮度''對(duì)比度'，至出現(xiàn)較為明亮的圖像。后粗調(diào)'聚焦'條，至顯示較為清晰的圖像，然后將樣品臺(tái)移動(dòng)到想要拍照的樣品上。

3、低倍數(shù)下有了較為清晰圖像后。將倍數(shù)放大至大于要拍攝倍數(shù)后（比如要拍攝1000倍，放大至5000或10000），將'平均'點(diǎn)數(shù)切換至5，然后將光標(biāo)放至'聚焦微調(diào)'圓鈕上，緩慢滾動(dòng)滾輪，調(diào)整至圖像清晰位置。然后切換至'鏡組配置'，依次調(diào)整四個(gè)'消像散'條，至圖像清晰為止。

用臺(tái)式掃描電鏡拍幾千倍的圖可根據(jù)樣品信號(hào)強(qiáng)度選擇光斑直徑中或者細(xì)來(lái)拍照。

縱觀目前國(guó)內(nèi)外的研究現(xiàn)狀和成果，該領(lǐng)域的檢測(cè)方法和表征方法可采用透射電子顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡等技術(shù)，但高分辨率掃描電子顯微鏡的觀察和尺寸檢測(cè)由于其簡(jiǎn)單性和可操作性的優(yōu)點(diǎn)而被廣泛使用。此外，如果將掃描電子顯微鏡和掃描隧道顯微鏡結(jié)合起來(lái)，可以將普通的掃描電子顯微鏡升級(jí)為高分辨率的掃描電子顯微鏡。

掃描電子顯微鏡的特點(diǎn)有哪些？

可以通過(guò)電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像質(zhì)量， 如亮度及反差自動(dòng)保持， 試樣傾斜角度校正， 圖象旋轉(zhuǎn)， 或通過(guò)Y調(diào)制改善圖象反差的寬容度，天津環(huán)境場(chǎng)掃描電鏡分析， 以及圖象各部分亮暗適中。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖象選擇器， 可在熒光屏上同時(shí)觀察放大倍數(shù)不同的圖象。

可進(jìn)行綜合分析。裝上波長(zhǎng)色散X射線譜儀(WDX) 或能量色散X射線譜儀 (EDX) ， 使具有電子探針的功能， 也能檢測(cè)樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴(kuò)大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式， 顯示出了掃描電鏡的多功能。另外， 還可以在觀察形貌圖象的同時(shí)， 對(duì)樣品任選微區(qū)進(jìn)行分析;裝上半導(dǎo)體試樣座附件， 通過(guò)電動(dòng)勢(shì)象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實(shí)現(xiàn)了電子計(jì)算機(jī)自動(dòng)和半自動(dòng)控制， 因而大大提高了定量分析的速度。