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為了保證掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)能正常、穩(wěn)定地工作,電子和鏡筒內(nèi)部都需要有很高的真空度。真空度越高,越能減少對(duì)入射電子的散射,并能延長(zhǎng)電子陰極的壽命,還會(huì)降低高壓電極間的放電、打火和對(duì)電子束通道的污染。
目前,電鏡真空系統(tǒng)佳的搭配是采用干泵(無(wú)油機(jī)械泵與渦輪分子泵的組合)來(lái)抽真空,這種搭配可以大大降低真空系統(tǒng)中的殘余氣體和反流的油蒸氣形成的碳?xì)渚酆衔飳?duì)試樣表面的污染。

樣品可以是塊狀、片狀、纖維狀,也可以是顆粒或粉末狀,電鏡測(cè)試費(fèi)用,無(wú)論是什么樣的樣品都不能是有機(jī)揮發(fā)物和含有水分,深圳電鏡測(cè)試,如果將含有水分的樣品放在鏡筒內(nèi)能產(chǎn)生2種嚴(yán)重不良后果:一是當(dāng)真空達(dá)不到要求強(qiáng)行通高壓時(shí),其產(chǎn)生的水蒸汽遭遇高能電子生電離而放電引起束流大幅度波動(dòng),使所成的像模糊,或根本不能成像;二是造成鏡筒污染;三是損壞燈絲,當(dāng)高能電壓通過(guò)燈絲時(shí),溫度高達(dá)2000Ο,碰到水蒸汽而氧化變質(zhì)或熔斷,因此,應(yīng)先烘干樣品中的水分;

掃描電子顯微鏡,被廣泛應(yīng)用于對(duì)各種材料的形貌、結(jié)構(gòu)、界面狀況、損傷機(jī)制以及材料性能預(yù)測(cè)等方面,可以直接觀察材料內(nèi)部原子的集結(jié)方式和真實(shí)的邊界,電鏡測(cè)試機(jī)構(gòu),研究晶體缺陷等,從而分析得出失效原理。失效分析是一門(mén)發(fā)展中的新興學(xué)科,近年開(kāi)始從向普通企業(yè)普及,它一般根據(jù)失效模式和現(xiàn)象,通過(guò)分析和驗(yàn)證,電鏡測(cè)試哪家好,模擬重現(xiàn)失效的現(xiàn)象,找出失效的原因,挖掘出失效的機(jī)理的活動(dòng)。


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