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臺式掃描電鏡觀察試樣表面形貌

臺式掃描電鏡觀察試樣表面形貌

從試樣表面形貌獲得多方面資料,不僅可以利用入射電子與樣品相互作用產(chǎn)生的信息進(jìn)行成像,還可以通過信號處理方法獲得各種圖像的特殊顯示方法,天津電鏡測試機(jī)構(gòu),從樣品的表面形貌中獲得各種信息由于掃描電子圖像不是同時(shí)記錄的,它是由近百萬條記錄逐個(gè)組成的因此,除了觀察其表面形貌外,SEM還可以分析其成分和元素通過電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析,選擇的面積大小可以在10μm到3μm之間。


EDS能譜分析是當(dāng)X射線光子進(jìn)入檢測器后

EDS能譜分析是當(dāng)X射線光子進(jìn)入檢測器后,在Si晶體內(nèi)激發(fā)出一定數(shù)目的電子空穴對。產(chǎn)生一個(gè)空穴對的低平均能量ε是一定的(在低溫下平均為3.8ev),而由一個(gè)X射線光子造成的空穴對的數(shù)目為N=△E/ε,因此,入射X射線光子的能量越高,N就越大。利用加在晶體兩端的偏壓收集電子空穴對,天津電鏡測試,經(jīng)過前置放大器轉(zhuǎn)換成電流脈沖,天津電鏡測試中心,電流脈沖的高度取決于N的大小。電流脈沖經(jīng)過主放大器轉(zhuǎn)換成電壓脈沖進(jìn)入多道脈沖高度分析器,脈沖高度分析器按高度把脈沖分類進(jìn)行計(jì)數(shù),這樣就可以描出一張X射線按能量大小分布的圖譜。


色差是金相顯微鏡透鏡成像的一個(gè)嚴(yán)重缺陷,發(fā)生在多色光為光源的情況下,單色光不產(chǎn)生色差。白光由紅 橙 黃 綠 青 藍(lán) 紫 七種組成,各種光的波長不同 ,所以在通過透鏡時(shí)的折射率也不同,這樣物方一個(gè)點(diǎn),在像方則可能形成一個(gè)。球差是軸上點(diǎn)的單色相差,是由于透鏡的球形表面造成的。球差造成的結(jié)果是,一個(gè)點(diǎn)成像后,不在是個(gè)亮點(diǎn),而是一個(gè)中間亮邊緣逐漸模糊的亮斑,從而影響金相顯微鏡成像質(zhì)量。


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