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現(xiàn)場(chǎng)發(fā)射鏡是一種電子顯微鏡。廣泛應(yīng)用于生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、金屬材料、聚合物材料、化工原料、地質(zhì)礦物、商品檢驗(yàn)、產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量控制、寶石鑒定、考古鑒定和調(diào)查物證分析。可觀察和檢測(cè)上述微米和納米樣品的非均相有機(jī)材料、無(wú)機(jī)材料和表面特征。熱場(chǎng)和冷場(chǎng)的共性是分辨率高。熱場(chǎng)束流較大,適合分析,但維護(hù)成本相對(duì)較高,維護(hù)要求較高。冷場(chǎng)適合表面外觀觀測(cè),維護(hù)成本相對(duì)較低,維護(hù)要求不高。

EDS能譜分析是當(dāng)X射線光子進(jìn)入檢測(cè)器后,電鏡測(cè)試機(jī)構(gòu),在Si晶體內(nèi)激發(fā)出一定數(shù)目的電子空穴對(duì)。產(chǎn)生一個(gè)空穴對(duì)的低平均能量ε是一定的(在低溫下平均為3.8ev),而由一個(gè)X射線光子造成的空穴對(duì)的數(shù)目為N=△E/ε,因此,入射X射線光子的能量越高,N就越大。利用加在晶體兩端的偏壓收集電子空穴對(duì),廊坊電鏡測(cè)試,經(jīng)過(guò)前置放大器轉(zhuǎn)換成電流脈沖,電流脈沖的高度取決于N的大小。電流脈沖經(jīng)過(guò)主放大器轉(zhuǎn)換成電壓脈沖進(jìn)入多道脈沖高度分析器,脈沖高度分析器按高度把脈沖分類進(jìn)行計(jì)數(shù),這樣就可以描出一張X射線按能量大小分布的圖譜。

光學(xué)顯微鏡價(jià)格便宜,操作簡(jiǎn)單,電鏡測(cè)試價(jià)格,但由于可見(jiàn)光波長(zhǎng)的限制,電鏡測(cè)試費(fèi)用,其放大倍數(shù)只能達(dá)到1000倍左右;傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡有效放大倍數(shù)可以達(dá)到數(shù)萬(wàn)倍,具有大景深,是當(dāng)前材料科學(xué)、生物科學(xué)領(lǐng)域常用的表征手段之一,但其投資巨大,而且需要經(jīng)過(guò)嚴(yán)格培訓(xùn)的操作人員,使用不便。臺(tái)式掃描電子顯微鏡結(jié)合光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數(shù)和大景深,同時(shí)體積小、操作簡(jiǎn)便,價(jià)格僅為傳統(tǒng)電鏡的幾分之一,逼近光學(xué)顯微鏡。臺(tái)式掃描電子顯微鏡操作方便、維護(hù)簡(jiǎn)單等特點(diǎn)被認(rèn)可。


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