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為了保證掃描電鏡的電子光學系統(tǒng)能正常、穩(wěn)定地工作,電子和鏡筒內(nèi)部都需要有很高的真空度。真空度越高,投射電鏡分析費用,越能減少對入射電子的散射,并能延長電子陰極的壽命,還會降低高壓電極間的放電、打火和對電子束通道的污染。
目前,電鏡真空系統(tǒng)佳的搭配是采用干泵(無油機械泵與渦輪分子泵的組合)來抽真空,這種搭配可以大大降低真空系統(tǒng)中的殘余氣體和反流的油蒸氣形成的碳氫聚合物對試樣表面的污染。

可進行綜合分析。裝上波長色散X射線譜儀(WDX) 或能量色散X射線譜儀 (EDX) , 使具有電子探針的功能,投射電鏡分析中心, 也能檢測樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴大應用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式, 顯示出了掃描電鏡的多功能。另外, 還可以在觀察形貌圖象的同時,張家口投射電鏡分析, 對樣品任選微區(qū)進行分析;裝上半導體試樣座附件, 通過電動勢象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實現(xiàn)了電子計算機自動和半自動控制, 因而大大提高了定量分析的速度。

臺式掃描電鏡觀察生物試樣
因電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。掃描電鏡同其他方式的電子顯微鏡比較,由于用于觀察的電子探針電流小,電子探針的束斑尺寸小(通常為5nm到幾十納米),電子探針的能量也小(加速電壓可以小到2KV)此外,它不會在固定處照射樣品,而是通過光柵掃描照射樣品因此,對一些生物樣品進行觀察是非常重要的,因為樣品的損傷和污染程度都很小。


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