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根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機配合送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用,對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求,山西實驗室凈化,但運行成本較高,并且潔凈室風速、風量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級改造困難,因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,凈化實驗室工程,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整,實驗室凈化施工,這些都能很好地滿足半導體制造的需求,因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為1主要的凈化設計方案。

無塵車間的裝修
無塵車間的裝修應首行合理的工藝流程和建筑平面設置,然后選擇符合無塵車間特點的建筑結構和建筑材料。無塵車間裝修應根據(jù)當?shù)啬茉垂尘?,然后將空調(diào)凈化裝置和排氣系統(tǒng)分開。
選擇合理的空氣凈化設備,無論是新建還是改造后的無塵車間,都必須按照相關標準和規(guī)范進行裝修。

無塵車間內(nèi)之注意事項
1、進入無塵車間之油漆或物品須先經(jīng)空氣清洗除塵之手續(xù)。
2、在無塵車間中制止抓頭、抹臉或搓手。
3、嚴禁在設備上書寫及刻畫。
4、在無塵室有必要運用潔無塵室紙筆。
5、防止在機器上運用膠帶張貼紙張。
6、當運用氣1時,有必要置于除塵抽風口,以免塵埃污染產(chǎn)品。

異常情況處理
1、在設備發(fā)生異常情況(非緊迫情況),請先與設備之擔任人或設備部工程師聯(lián)絡后再作處置。
2、遇有氣體外泄,實驗室凈化報價,化學品翻灑及火警等緊迫情況請告訴擔任人員。
廢棄物處理
1、一切廢棄物及用過之化學品應依規(guī)則之方式處理及傾倒。
2、隨時堅持整潔,勿將廢物留給別人,手套、指套、廢棄物請勿隨手丟,應置入廢物桶內(nèi)。
3、勿將酸及有1機混合傾倒,以免爆1破。
4、有1機廢應倒入容器中貯存,勿倒入排水體系中。
