海南凈化車間-豪俊凈化工程-空氣凈化車間
生物凈化車間廠家
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無塵車間溫濕度是如何的？溫濕度在無塵車間起到什么作用呢？是這樣的，無塵車間溫濕度是檢驗無塵車間內(nèi)部穩(wěn)定性的一項重要工作，目的是確認空氣處理設施的溫度控制能力。無塵車間濕度的測試通常采用通風干濕球濕度計、電容式濕度計、數(shù)字式濕度計、毛發(fā)式濕度儀器。相對濕度測試的測點、測試頻度和時間與溫度測試時間相同，建議采用一同測試。
對于無塵車間面積小，較分散；對振動、噪聲等的控制要求相對較低的情況下，適合采用分散式空調(diào)凈化系統(tǒng)。其優(yōu)點是投資費、運行費、占用建筑面積及空間都較集中式系統(tǒng)節(jié)省。一個比較典型的分散式空調(diào)凈化系統(tǒng)為例，分析討論如下。
??風熱濕比線占。
??②根據(jù)房間余熱量Q或余濕量W，按凈化級別所要求的通風量G，確定在占線上的送風狀態(tài)點S。Q-G（iN -/S）。
??③過S點作等d線，海南凈化車間，并根據(jù)加壓風機的壓頭及其后的管道、靜壓箱與周圍環(huán)境的換熱決定氣流的溫升缸，一般情況At的值不大于1℃，根據(jù)溫升量出，空氣凈化車間，在過S的等d線確定c-，使At= ts - tc’。
??④根據(jù)空調(diào)機組在給定條件下的制冷量Qk及空氣質(zhì)量流量G。，確定其單位風量的攜冷量△f。即室內(nèi)回風經(jīng)空調(diào)機組處理后的焓降量iN -/K。
??QK／GK=△f=iN -/K ?。
??以N點為圓心，凈化車間裝修，以iN -/K值為半徑畫弧線與。=90%～95%相對濕度線相交于K點。由N至K點的變化過程應是降溫去濕的減焓過程。
??⑤連結K點與Os點。延長N點與C、點的連線與KQs線相交于C點。C點即為新風與經(jīng)空調(diào)機組處理的回風的混合狀態(tài)點。
根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機配合送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調(diào)節(jié)困難，凈化車間施工，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為1主要的凈化設計方案。
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