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廈門(mén)龍籌機(jī)電有限公司是一家致力于品牌真空泵設(shè)備銷(xiāo)售、真空泵配件、安裝及保養(yǎng)維修、真空機(jī)組系統(tǒng)設(shè)計(jì)與制作等的企業(yè)。經(jīng)營(yíng)品牌有貝克becker真空泵,Rietschle里其樂(lè)真空泵,Leybold 萊寶真空泵,Busch普旭真空泵,Edwards 愛(ài)德華真空泵等,歡迎來(lái)電咨詢(xún)! ? ?
隨著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn),其應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣,在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵,縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間,并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。

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被抽氣體的溫度或許過(guò)高。辦法:降低被抽氣體的溫度,或可以加一個(gè)相應(yīng)的換熱器。泵內(nèi)的油路不通或許不暢,泵腔內(nèi)沒(méi)有堅(jiān)持一定量的油量。辦法:查看油路是否疏通,并加同類(lèi)型的真空泵油。另外也是因?yàn)檎婵毡糜驮斐傻恼婵斩鹊偷那闆r,旋片真空泵,便是真空泵油乳化變色,或許過(guò)臟。辦法:放潔凈泵內(nèi)的所有真空泵油,更換同類(lèi)型的真空泵油,并處理被抽氣體中水蒸氣和雜質(zhì)不進(jìn)入泵內(nèi)。

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分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。??由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。
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