高純供氣系統(tǒng)公司

小流量氣體凈化系統(tǒng)

高純供氣系統(tǒng)主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣，應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣，也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體，更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。

氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑，電化學拋光316L不銹鋼管件，出氣口配置微米過濾器，其氣體純化指標達到各項雜質含量小于1ppb的水平。

氣體配比儀采用質量流量計，電化學拋光316L不銹鋼管件，雙卡套或者VCR氣體接頭。

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電子特氣系統(tǒng)的維護

由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風險的供應系統(tǒng)，因此在生產線現(xiàn)場的維護需要、有經(jīng)驗的技術員完成。特氣系統(tǒng)的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。

（1）特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜，每種氣柜的維護方法有一定的區(qū)別。全自動氣柜維護自動化程度較高，并且。在維護前關閉鋼瓶閥門，設置換瓶吹掃，程序自動進行抽氣，置換等動作，根據(jù)氣體性質的不同，一般至少吹掃60次以上，負壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。

（2）管路的維護，高純供氣系統(tǒng)公司，由于不同的氣體性質不一樣，對管路維護的方法也不相同，對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃（N2purge），一般至少反復30次，對于有吸附性的液態(tài)源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復的抽真空，抽完后關閉閥門，1小時后會出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象，會造成管道泄漏的誤導，遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽，直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。

以上兩種系統(tǒng)維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負壓保壓為-12PSI，保壓時間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（PT）受溫度的影響，一般有2PSI的正負波動。

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氦質譜檢漏儀

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質譜檢漏儀及其應用技術也在不斷發(fā)展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢漏儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀1新氦質譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn)，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等方向發(fā)展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大地1推動了氮質譜檢漏技術的不斷發(fā)展。

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