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興之揚蝕刻電視304不銹鋼網小編來給大家講解干法蝕刻電漿形成之原理：

電漿的產生可藉由直流(DC)偏壓或交流射頻(RF)偏壓下的電場形成，如圖5-3所示，而在電漿中的電子來源通常有二：一為分子或原子解離后所產生的電子，另一則為離子撞擊電極所產生的二次電子(SecondaryElectron)，在直流(DC)電場下產生的電漿其電子源主要以二次電子為主，而交流射頻(RF)電場下產生的電漿其電子源則以分子或原子解離后所產生的電子為主。

在電漿干法蝕刻中以直流方式產生輝光放電的缺點包含了：1)需要較高的功率消耗，也就是說產生的離子密度低；2)須要以離子撞擊電極以產生二次電子，如此將會造成電極材料的損耗；3)所需之電極材料必須為導體。如此一來將不適用于晶圓制程中。

在射頻放電(RFDischarge)狀況下，由于高頻操作，使得大部份的電子在半個周期內沒有足夠的時間移動至正電極，因此這些電子將會在電極間作振蕩，并與氣體分子產生碰撞。而射頻放電所需的振蕩頻率下限將視電極間的間距、壓力、射頻電場振幅的大小及氣體分子的解離位能等因素而定，而通常振蕩頻率下限為50kHz。一般的射頻系統(tǒng)所采用的操作頻率大都為13.56MHz。

金屬蝕刻網片的熔煉過程：

1）一：這個階段主要是起弧。電爐通電后，電極發(fā)射熱電子，從陰極發(fā)出大量電子，高速電子可使中性的空氣分子離解成離子，從而空氣具有導電能力，產生電弧，釋放出大量的光和熱。

2）二：這個階段主要是電極穿井和極下爐料的熔化。通電起弧后，電極下的爐料受熱熔化。隨著熔化的進行，經過15-25分鐘的時間，電極降到低位置。在此階段，電弧始終被爐料包圍，電弧所放出的熱量絕大部分用于加熱和熔化爐料，對爐蓋的熱輻射很少，應該向爐內輸送大功率。

3）三：這一階段主要是電極四周爐料的熔化和電極的回升。隨著熔化的進行，液面不斷上升，電極也就相應地上升。在回升過程中，周圍的爐料逐漸熔化，當爐內只有爐坡和爐底還剩部分未熔爐料，即全部爐料熔化80%左右，這一階段結束。在這個階段，電弧在大部分時間中仍被冷料包圍，應仍向爐內輸送大功率。

4）四：這個階段主要是低溫爐區(qū)爐料的熔化。電弧是點熱源，爐膛內的溫度分布不均勻，爐門附近，出鋼口兩側等處的爐料熔化較慢。應及時將這些地方的冷料推入熔池。在此階段液面仍緩慢上升，鋼水溫度已經升高，電弧開始暴露在液面上，輻射加強，應該適當降低輸入功率和電壓。

第二和第三階段是熔化過程的主要階段，占全部時間的70-80%，是決定熔化期時間長短的主要因素。

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