晴朗凈化(圖)-電子廠凈化車間-岳陽樓凈化車間

凈化車間我們還要注意什么？潔凈室應(yīng)設(shè)的人的流、物流通道。人員應(yīng)按規(guī)定的凈化程序進(jìn)入，并應(yīng)嚴(yán)格控制人數(shù)。對(duì)于物料可在除去浮塵后拆去外包的通過緩沖間或傳遞柜送入。不同潔凈等級(jí)的潔凈區(qū)物品則通過傳遞窗傳送。中間站宜設(shè)在中心位置，以便縮短運(yùn)送距離。潔凈區(qū)內(nèi)不設(shè)與本崗位無關(guān)的管道。充分利用上下或周圍的技術(shù)夾層，所有公用管道、工藝管道的主干管均在技術(shù)夾層安裝。穿越地面、隔墻的管道盡可能靠近使用點(diǎn)并敷設(shè)套管，套管內(nèi)的管道不應(yīng)有焊縫，管道與套管之間應(yīng)有可叉的密封措施。進(jìn)入潔凈室的管道應(yīng)為不銹鋼材質(zhì)。

在進(jìn)行凈化車間設(shè)計(jì)施工時(shí)應(yīng)該注意：潔凈室并非越大越好，面積和空間的大小關(guān)系著送風(fēng)量的多少，決定著空調(diào)能耗的大小，影響工程的投資。但凈化車間的空間面積也不可太小，太小可能不便于操作、維修。所以，設(shè)計(jì)合理的空間面積應(yīng)考慮到設(shè)備操作、維修的需要。生產(chǎn)區(qū)和儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)有與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)的空間面積，岳陽樓凈化車間，用以安置設(shè)備、物料，凈化車間設(shè)計(jì)，便于操作和維修。一般潔凈室高度控制在2.60米，對(duì)個(gè)別較高的設(shè)備可在局部加高，而不宜提高潔凈區(qū)的高度。凈化車間內(nèi)部應(yīng)設(shè)有物料的中間站，其面積足以存放物料、中間產(chǎn)品、待驗(yàn)品和成品，且便于明確分區(qū)，以減少差錯(cuò)和交叉污染。

潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，凈化車間裝修，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。潔凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為更適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。并裝局部無塵室：將無塵室等級(jí)10，000~100，000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。