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螺桿式真空泵不僅適應(yīng)性廣泛,可以在惡劣條件下抽氣,同時(shí)可以達(dá)到較高真空度(0.1~1Pa)。因此,無(wú)油真空泵的工作原理,隨著半導(dǎo)體、石化行業(yè)的快速發(fā)展,螺桿式真空泵作為一種理想干泵也開(kāi)始廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、化工領(lǐng)域,如半導(dǎo)體行業(yè)的氣相沉積、蝕刻,化工行業(yè)的蒸餾干燥、中間體、回收、油氣回收等。
雖然由于型線技術(shù)以及加工上的成本導(dǎo)致螺桿式真空泵購(gòu)置費(fèi)用較為昂貴,但從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)說(shuō),其寬適應(yīng)、環(huán)保的特性以及低故障維修率,無(wú)油真空泵,能在運(yùn)行周期內(nèi)給企業(yè)帶來(lái)更高的綜合效益與社會(huì)環(huán)境效益,無(wú)油真空泵的原理圖,使用的更加廣泛性必是未來(lái)的趨勢(shì)。
干式螺桿真空泵是干式泵家族中的一員。所謂干式真空泵,在泵的抽氣流道中,不能使用任何油類和液體,排氣口與大氣相通,能直接連續(xù)向大氣中排氣的泵。干式真空泵在抽氣流道內(nèi)無(wú)任何液態(tài)工作介質(zhì)或密封介質(zhì),從根本上解決了油封式真空泵引發(fā)的各種問(wèn)題。無(wú)油真空泵干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,無(wú)油真空泵廠家價(jià)格,在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)真空獲得設(shè)備。日本是應(yīng)用螺桿真空泵非常多的,半導(dǎo)體和LCD 行業(yè)應(yīng)用廣泛,大晃株式會(huì)社的吉村將士等很早就在單頭等螺桿轉(zhuǎn)子方面申請(qǐng)了,在轉(zhuǎn)子上做了深入的研究,日立公司早期也做過(guò)螺桿泵方面的研究。
螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)
目前各種真空泵的發(fā)展愈來(lái)愈受到真空應(yīng)用場(chǎng)合的影響,一般的真空系統(tǒng)無(wú)法滿足清潔無(wú)油及耐腐蝕的要求,因此近年來(lái)干式真空泵市場(chǎng)需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無(wú)油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國(guó)外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)得以廣泛應(yīng)用。


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