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千級無塵車間在設計上要考慮到以下幾個問題:
1、維護性
對千級無塵車間而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。 至于維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優(yōu)先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中1重要的為天花板,其包含HEPA及 ULPA等濾網(wǎng),其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需要,便其分開來,供應各個不同區(qū)域的小房間。
2、成本
微電子 C/R 建設費可能花費到億。fab 能更快的被建造起來,產(chǎn)品也就能更快達到這市場。 許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 '錢' 將成為一個很重要的考慮因素。
3、適應性
一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆,而適應性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致1極大的損失。C/R 的擁有者和設計者的能力為改變一 C/R的關鍵,所以他們從不將1初的設計定型。
4、耐久性
無塵車間要有符合環(huán)境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體 Fabs 傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,廠房裝修報價,它不是便宜的物質。
5、清洗
無塵車間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性1病毒或的污染之特性。在凈化工程市場,清洗真正地是一個1重要的企業(yè)。

無塵車間潔凈室氣流流型的設計應符合下列規(guī)定:1、無塵車間潔凈室的氣流流型和送風量應符合下表所示的要求,空氣潔凈度等級要求嚴于4級時,應采用單向流,空氣潔凈度等級為4級-5級時,應采用單向流,空氣潔凈度等級為6級-9級時,應采用非單向流。2、無塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流分布應均勻3、無塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流流速應符合生產(chǎn)工藝要求

