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根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用,對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。
第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無(wú)塵車間大面積高等級(jí)的要求,但運(yùn)行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級(jí)改造困難,因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為1主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

無(wú)塵車間的凈化標(biāo)準(zhǔn)可以從百級(jí)到十萬(wàn)級(jí)區(qū)分,區(qū)分的標(biāo)準(zhǔn)就在于室內(nèi)單位空氣體積中的含塵量。所以,在無(wú)塵車間工程中,對(duì)于空氣中含塵量的控制是重中之重。
? ?普通的個(gè)人家庭中往往不會(huì)考慮空氣含塵量的因素,除非是居住在環(huán)境污染較為嚴(yán)重的城市。除了無(wú)塵車間之外,一些粉塵較多的車間也會(huì)考慮含塵量的控制,但其主要是以大功率風(fēng)機(jī)作為空氣交換設(shè)備,依次來(lái)達(dá)到排出粉塵的目的。
? ?在無(wú)塵車間工程中,對(duì)于含塵量的控制也如普通車間中會(huì)有空氣交換的選擇,但無(wú)塵車間工程一般會(huì)選擇潔凈效果更好的潔凈空調(diào),而不是風(fēng)機(jī)。原因在于無(wú)塵車間工程的空調(diào)除了空氣交換之外,還能對(duì)室內(nèi)的溫濕度一并進(jìn)行控制,不需要額外添加設(shè)備。

在很多行業(yè)都會(huì)應(yīng)用到無(wú)塵車間,尤其現(xiàn)在熱門的精密電子產(chǎn)業(yè)和醫(yī)1藥制造業(yè),對(duì)無(wú)塵車間的要求就更為嚴(yán)格。
因?yàn)闊o(wú)塵車間不僅能保證工作人員身體健康,凈化手術(shù)室裝修,而且對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量、精度、成品率、穩(wěn)定性等都有顯著作用。
無(wú)塵車間裝修是一個(gè)非常具有技術(shù)性的行業(yè),無(wú)塵車間不像我們的普通房間那樣,它需要具備非常高的潔凈度,有些地方還需要具有防塵、防火、保溫、等要求。
所以無(wú)塵車間的裝修就要對(duì)這行業(yè)具有非常深入的了解,這樣才能做到真正意義上的“無(wú)塵”。

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