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無塵車間的清潔要求
??(1)、清潔潔凈室內(nèi)的墻時應(yīng)使用潔凈室無塵布;
??(2)、用90%去離子水和10%的異丙1醇配置清潔劑;
??(3)、使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室去污劑;
??(4)、每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱,并及時清走。
??(5)、每塊地板都要吸塵。每次交接班時,都應(yīng)在地圖上標(biāo)明工作完成情況,例如在哪結(jié)束從哪開始。
??(6)、清潔潔凈室的地面應(yīng)使用拖把。
??(7)、在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有過濾器的真空吸塵器。
??(8)、所有的門都需要檢查并擦干
??(9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。
??(10)、架空地板下也要吸塵及擦拭。
?? (11) ?、三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。
??(12)、工作時一定要記住,永遠(yuǎn)是由上往下擦,從離門遠(yuǎn)的地方向門的方向擦。

無塵車間施工要求
1、自流平地面處理,厚度2mm。
2、根據(jù)GMP規(guī)范要求,縫隙部位要做密封處理。
3、所有的配件與主體結(jié)構(gòu)相連,防止松動和灰塵脫落。
4、縫隙應(yīng)在正面密封。
5、根據(jù)GMP認(rèn)證檢查標(biāo)準(zhǔn),山東廠房裝修,符合下列要求:
? ? a.選用變形小的材料。
? ? b.墻壁和頂棚應(yīng)平整、易清洗等。色彩要和諧,便于識別污染物。
? ? c.各個相接處的縫隙須密封。
6、作業(yè)中的發(fā)塵量須隨時清掃。
7、裝有過濾器的房間,不能有粉塵的作業(yè)。
8、保護好作業(yè)面,避免造成板材缺陷。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設(shè)計中被廣泛應(yīng)用,對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
第二種形式的設(shè)計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求,但運行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級改造困難,廠房裝修施工,因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為1主要的凈化設(shè)計方案。


注冊資金:50萬
聯(lián)系人:朱經(jīng)理
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企業(yè)地址:浙江 余杭區(qū)