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凈化車間中對光源有特殊請求的車間,如:顯像管廠的熒光粉涂敷間、半導(dǎo)體廠房中的光刻間,為了防止感光材料的感光,必須運(yùn)用黃色或紅色光源的,應(yīng)滿意其特殊請求選用黃色熒光燈管或低壓鈉燈,黃色熒光燈管也有兩種,一種為燈管內(nèi)壁涂黃色熒光粉;另一種為白色熒光燈管外套黃色塑料套管,他們的光通量比通常熒光燈都要低。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用,對于大面積高等級的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。
第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求,但運(yùn)行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級改造困難,因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整,潔凈實(shí)驗(yàn)室價(jià)格,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為1主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

無塵車間溫濕度標(biāo)準(zhǔn):溫度控制在22 ℃ 左右,相對濕度控制在 55 ~ 60%RH
由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。需要靜電,并使人也感覺舒適。


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