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無塵車間一般至少要采用初、中、高三級過濾器過濾,而這三級過濾器的阻力加起來就有700~800帕左右,無塵車間一般也要采用集中送、回風(fēng)的方式,以保證維持無塵車間的正負(fù)壓調(diào)節(jié)的要求,所以無塵車間的管道阻力一般比普通空調(diào)的要多一倍以上。需要克服這些阻力,就要求空氣處理機(jī)組的送風(fēng)機(jī)有足夠的壓頭,設(shè)備強(qiáng)電安裝,GMP無塵車間,所以無塵車間的空氣處理機(jī)組的送風(fēng)機(jī)組一般采用后彎機(jī)翼型的風(fēng)機(jī),精密電子無塵車間,或者是無窩殼的風(fēng)機(jī),才能達(dá)到足夠高送回風(fēng)壓頭。










????無塵凈化車間工程高標(biāo)準(zhǔn)的等級要求,只要大家能夠細(xì)心的做好每一步,也就沒什么問題了。無塵凈化車間其應(yīng)掌握的內(nèi)容,粒子或菌類危害程度。無塵室內(nèi)的產(chǎn)品所要求的潔凈度。無塵室塵源及其控制。工藝操作對潔凈度的影響。潔凈度、測定儀器、測定方法和評價方法的知識。凈化設(shè)備和系統(tǒng)的使用規(guī)程,故障排除方法。本無塵室的構(gòu)造和性能。安全措施,衛(wèi)生措施。對無塵室工作人員進(jìn)行訓(xùn)練的內(nèi)容一般包括如下幾個方面。按規(guī)定的方法練習(xí)脫去個人服裝并保管起來。按規(guī)定的方法練習(xí)穿潔凈工作服,按規(guī)定的方法練習(xí)洗手、烘干,使用無塵室紙巾。做不拖足行走的練習(xí),做帶進(jìn)無塵室器材的清潔凈化練習(xí)。練習(xí)使用無塵室的消防器材。


潔凈室中的溫濕度控制:
????潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。
????具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。
????濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)蕞佳溫度范圍為35—45%。



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