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手動(dòng)超高真空插板閥是用壓縮空氣為動(dòng)力,通過電磁換向閥改變氣路方向,推動(dòng)氣缸活塞,驅(qū)動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)閥門的開啟或關(guān)閉,從而達(dá)到在超高真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。
主要技術(shù)性能
| 適用范圍(Pa) | 10∧5~1.3×10ˉ7 |
| 閥門漏率(Pa.L/S) | DN≤200為≤1.3×10ˉ7 DN≥250為≤6.7×10ˉ7 |
| 閥門烘烤溫度(℃) | ≤150(除傳動(dòng)裝置外) |
| 開閥時(shí)閥板兩側(cè)壓力差(Pa) | ≤2.7×10∧3 |
| 閥板密封件 | 氟橡膠 |
| 軸封處密封件 | 不銹鋼波紋管 |
CC-(DN63-250)超高真空手動(dòng)插板閥規(guī)格尺寸:
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