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氧化爐擴(kuò)散爐氧化爐程控?cái)U(kuò)散爐青島晨立電子

[氧化爐

真空爐

擴(kuò)散爐

程控?cái)U(kuò)散爐

退火爐

立式擴(kuò)散爐

熱處理爐

燒結(jié)爐]

青島市擴(kuò)散爐廠家

價(jià)格： 電議

物流： 山東青島市即墨區(qū)| 賣家支付運(yùn)費(fèi)

可銷售總量： 99件

手機(jī)： 13869885308 郵箱： qingdao_chenli@126.com

傳真： 尚未完善 地址： 山東青島市

在線詢盤聯(lián)系廠家：13869885308 0532-88533525

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品牌： 其他
型號： cl
加工定制： 是
形式： 電動(dòng)
電源電壓： 380
爐管數(shù)： 1-4
口徑： 90-360mm
工作溫度： 400-1280攝氏度

產(chǎn)品描述

設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。
設(shè)備特點(diǎn)：單元組合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。
主要技術(shù)指標(biāo)：
★ 爐管數(shù)：      1～4管
★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★ 恒溫區(qū)長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)
760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★ 單點(diǎn)穩(wěn)定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)
±0.5℃/24h (800～1280℃)
★ 氣源路數(shù)：    ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器
★ 氣體控制：    浮子/質(zhì)量流量計(jì)
★ 懸臂舟參數(shù)：速度：    20～1000 mm/min
                        最大行程：2000 mm
                        定位精度：±1 mm
                        最大載荷：17 Kg
★ 超凈工作臺(tái)：凈化等級：100級（萬級廠房）
噪音：    ≤62dB（A）
振動(dòng)：    ≤3μm

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