供應PORTER液體質(zhì)量流量控制器
北京市質(zhì)量流量控制器廠家
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· 壓電式控制閥
· 金屬密封結(jié)構(gòu)
· 響應時間快
· 設計緊湊
· 316L/316SS不銹鋼結(jié)構(gòu)
· 高精度達± 1％
P2000i系列液體質(zhì)量流量控制器被設計用于要求對小流量液體進行快速、控制的領域。其簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。獨特的熱式測量系統(tǒng)提供的測量，同時液體溫度上升小于5度。的控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體 進行 快速、穩(wěn)定的控制。 P2000i系列同時也包括有一個液體質(zhì)量流量計，用于那些不需要進行流量控制的場合。
D2000i系列液體質(zhì)量流量控制器被設計用于要求對液體快速、控制的半導體制造工藝。數(shù)字控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應時間小于1秒。潔凈空間內(nèi)的裝配工藝和全金屬密封結(jié)構(gòu)確保（高純度和泄漏完整性）。獨特的層流旁路和傳感器部件提供的測量，同時液體溫度僅上升5度，此外，D2000i的簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。
液體流量計和控制器技術參數(shù)
流量范圍 ： P2000i系列和D2000i系列液體流量控制器是以（IPA）來標定的，在測量其它液體介質(zhì)時需要乘以一個校正系數(shù)，具體請參考表一
響應時間 ： P2000i系列 ： 2s（ 設定點的2％之內(nèi) ）
D2000i系列：＜1s（ 流量的5％之內(nèi) ）
精度和線性 ：± 1％滿量程（P2000i系列）；±1％讀數(shù)（D2000i系列）
重復性 ： P2000i系列：＜±0.2％滿量程（任意連續(xù)溫度下）
D2000i系列：＜±0.2％讀數(shù)
量程比： P2000i系列：50：1（2％-100％滿量程）
D2000i系列：20：1（5％-100％滿量程）
操作溫度 ： 40℃（104℉）
操作壓力： 125PSIG
溫度系數(shù) ：＜ 0.1％/℃
>設定點輸入 /流量輸出信號 ： 0-5VDC/0-5VDC（輸出流量信號時：需最小2KΩ電阻）
供電電源 ：﹢ 15VDC±10％（電流消耗＜200mADC時）
泄露率 ： 1х10 -9 atm.cc/s He
預熱時間： 10分鐘（P2000i系列）；20分鐘（D2000i系列）
電氣連接 ： 9針D型
入口 /出口過程連接 ： 1/8″Male VCR或1/8″Swagelok
控制閥 ：壓電式常開
內(nèi)置容積 ：＜ 0.71ml（P2000i系列）；＜1ml （D2000i系列）
重 量 ：≤ 0.68Kg
結(jié)構(gòu)材質(zhì)
主體： 316LSS
傳感器組件 ： 316LSS
閥構(gòu)成部件 ： 316LSS（D2000i系列）；302SS和316LSS（P2000i系列）
“ O”型環(huán)：316LSS
表 一
| IPA 流量范圍（CCM） | 液體介質(zhì) | 校正系數(shù) |
| 0.003-0.14 0.008-0.40 0.020-1.00 0.070-3.50 0.150-7.50 0.220-11.0 | CupraSelect | 1.164 |
| | 1.492 | |
| 辛烷 | 1.532 | |
| OMCTS | 1.927 | |
| TDEAT | 1.258 | |
| TMP | 1.357 | |
| 原硅酸鹽 | 1.156 | |
| TMB | 1.413 | |
| 水 | 0.492 |
標簽： 北京市質(zhì)量流量控制器 北京市質(zhì)量流量控制器廠家
北京頗特儀器有限公司
注冊資金：100萬以下
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