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SDG-48 型多晶硅微波干燥設(shè)備，廣泛適用半導(dǎo)體多晶硅干燥。
多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結(jié)合起來，就結(jié)晶成多晶硅。利用價值:從目前國際太陽電池的發(fā)展過程可以看出其發(fā)展趨勢為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)
1、油脂：在多晶硅生產(chǎn)過程中，油分子對多晶硅的危害十分嚴(yán)重。實(shí)際證明，整個工藝系統(tǒng)幾ppm的油含量就可能造成多晶硅反應(yīng)速度減慢，產(chǎn)量降低，甚至硅反應(yīng)停止。因此，多晶硅設(shè)備的脫脂工藝尤為重要。
2、水分：水中含有大量的氯離子，氯離子對多晶硅的反應(yīng)十分敏感。設(shè)備及系統(tǒng)干燥工藝很關(guān)鍵。
3、氯離子殘留：水和其他溶液在設(shè)備表面殘留的氯離子對多晶硅影響十分大。因此，在清洗后對設(shè)備進(jìn)行純水沖洗工藝十分重要。
4、氧化物、灰塵其他雜質(zhì)：其他污垢的存在，對多晶硅的生產(chǎn)影響也很大。因此，在設(shè)備清洗過程中，采用酸洗工藝對其他污垢進(jìn)行清洗十分必要。
多晶硅加工生產(chǎn)中，最關(guān)見的是用純水清洗，干燥。恰恰微波設(shè)備能滿足要求，加熱速度快，脫水快?？梢蕴崧?，是電加熱干燥的幾十倍，沒有二次污染，可以保證多晶硅的純度，有利于后續(xù)加工。微波干燥設(shè)備為了滿足多晶硅高溫干燥，輸送帶選用了耐1000度高溫的材料，保證了干燥順利完成。
    微波干燥設(shè)備整體外形結(jié)構(gòu)緊湊、美觀、流暢，占地面積小。針對該物料的物理特性，設(shè)計(jì)合理的箱體尺寸，使加熱器內(nèi)微波功率密度均勻，微波自上而下寬帶饋入，使物料加熱更加均勻。采用全新的微波烘干技術(shù)與設(shè)備。能夠?qū)崿F(xiàn)物料的無污染和均勻干燥，同時可大幅降低干燥溫度，此外干燥速度通常提高數(shù)倍以上，生產(chǎn)效率大幅提高，干燥能耗通常降低50%以上，最終實(shí)現(xiàn)安全潔凈生產(chǎn)。