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TA1高純鈦靶

[鈦多弧靶

表面工程用鈦靶材

純鈦靶]

寶雞市高純鈦靶廠家

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50 - 100件

100 件以上

價格

￥155.00

￥150.00

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[鈦多弧靶表面工程用鈦靶材純鈦靶]

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詳細信息（TA1高純鈦靶）

品名： 海綿鈦
牌號： ta1
產(chǎn)地： 寶雞
鈦含量≥： 99.9
雜質(zhì)含量： 0.1
重量： 1~
規(guī)格： 95*32
密度： 4.51

品名	純度	密度	鍍膜優(yōu)勢色	形狀	常規(guī)尺寸	應(yīng)用行業(yè)
鈦鋁（TiAl）合金靶	2N8-4N	3.6-4.2	玫瑰金/咖啡色	圓柱形	直徑 60/65/95/100*30/32/40/45mm	裝飾/工具
純鈦（Ti）靶）	2N8-4N	4.51	金黃色/qiang黑色藍色/玫瑰紅	圓柱形

靶材的主要性能要求:

純度

純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應(yīng)用中，對靶材的純度要求也不盡相同。隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

雜質(zhì)含量

靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的yang氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如，半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材，對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材為多晶結(jié)構(gòu)，晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材，晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快；而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

售后服務(wù)：

隨貨提供質(zhì)量證明書，嚴格按用戶要求的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)供貨，并對質(zhì)量負責(zé)到底，對不相符的材料經(jīng)第三方機構(gòu)檢測確認后包退、包換、包賠。

寶雞大洋金屬材料有限公司
寶雞市高新區(qū)鈦城路中段

QQ：2320851421

電話：18829872610
郵箱：2320851421@qq.com

公司網(wǎng)站: www.ocean-ti.com

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