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潔凈的生產環(huán)境是生產工藝的需要,是確保產品的成品率和產品質量的可靠性、長壽命所必須的。隨著我國國民經濟的發(fā)展,各行各業(yè)對生產環(huán)境的溫度、相對濕度和潔凈度的要求也越來越高。例如:大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展很快,在1980年時其集成度只有64KB,而到目前集成度已提高到1GB或更高;64KB集成電路前工序生產所要求生產環(huán)境的空氣潔凈度等級只有4級和5級,而1GB集成電路前工序生產對生產環(huán)境潔凈度等級的要求提高到l級和2級(O.1μm)。
不同的生產工藝,不同的生產工序對生產環(huán)境的要求也是不相同的,因此,確定潔凈室的空氣潔凈度等級時應根據不同工藝、不同工序對環(huán)境的潔凈度要求而定。
根據不同生產工藝、不同生產工序對環(huán)境潔凈度的不同要求,該高則高,該低則低,盡量縮小高潔凈度等級部分的面積,以局部高等級凈化和全室較低等級凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級凈化的潔凈室系統(tǒng)。既能確保不同生產工藝對生產環(huán)境的要求,又能大幅度地降低初投資和運行費用。
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