封裝無(wú)塵烘箱 6寸晶圓封裝無(wú)塵箱 8寸封裝*無(wú)塵箱

一、產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)： 

1.產(chǎn)品名稱及型號(hào)：無(wú)塵烘箱 CM-100 S350

2.電源及功率：AC380V 3φ 50Hz，6Kw

3.無(wú)塵等級(jí)：Class 100；

4.溫度范圍： 常溫+60～250℃；

5.溫度均勻度：±2% （空載）

6.升溫速度：>5℃/min ，升溫斜率可控，升溫速度可以通過(guò)加熱系統(tǒng)控制調(diào)節(jié)。

7.降溫：風(fēng)冷夾層降溫，200℃～ 120℃，3.5度/分鐘，120℃～ 65℃約1.5度/分鐘。

8.電磁鎖：?jiǎn)?dòng)設(shè)備運(yùn)行中，電磁門鎖鎖門，運(yùn)行未結(jié)束，人工不能開門。

二、可靠的測(cè)控系統(tǒng)

溫控裝置：智能控制系統(tǒng),歐姆龍PLC+PC工控（可聯(lián)網(wǎng)，對(duì)接MES及SECSGEM）

          程式編輯：可預(yù)編120個(gè)程式，每個(gè)程式可編99段，共1200段

          歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過(guò)USB接口導(dǎo)出)

          六點(diǎn)溫度記錄

三、規(guī)格尺寸多種可選(也可根據(jù)客戶尺寸定制）

公司名稱：上海旦順實(shí)業(yè)有限公司;業(yè)務(wù)經(jīng)理：蔣鑫;  手機(jī)號(hào)：15221744475;24小時(shí)服務(wù)熱線：400-823-8860;公司主頁(yè)：www.espec.com.cn