Partulab佰力博自主研發(fā)HRMS-800高溫四探針測(cè)試儀

Partulab佰力博自主研發(fā)HRMS-800高溫四探針測(cè)試儀，可以實(shí)現(xiàn)600℃高溫、真空、氣氛條件下測(cè)量半導(dǎo)體材料的方塊電阻，薄膜、薄片材料的方塊電阻。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于高?？蒲性核推髽I(yè)單位半導(dǎo)體薄膜和薄片材料電學(xué)性能研究。

雙電測(cè)組合

目前雙電測(cè)組合（亦稱雙位組合）四探針法有三種模式：模式（1），模式（2），模式（3），HRMS-800高溫半導(dǎo)體材料四探針測(cè)量系統(tǒng)采用模式（2），通過用計(jì)算機(jī)對(duì)三種模式的理論進(jìn)行比較研究的結(jié)果證明：對(duì)無窮大被測(cè)片三種模式都一樣，可是測(cè)量小片或大片邊緣位置時(shí)，模式（2）更好，它能自動(dòng)邊界影響，略優(yōu)于模式（3），更好于模式（1）。

技術(shù)參數(shù)

規(guī)格特點(diǎn)：

★ 可以實(shí)現(xiàn)常溫、高溫、真空、氣氛條件下測(cè)量半導(dǎo)體薄膜材料的電學(xué)性能；

★ 可以測(cè)量半導(dǎo)體薄膜和薄片材料的方塊電阻、電阻率；

★ 可以實(shí)現(xiàn)常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測(cè)量功能；

★ 可以通過輸入樣品的面積和厚度，軟件自動(dòng)計(jì)算樣品的電阻率ρv；

★ 可以分析電阻率ρv與溫度T的變化曲線；

★ 集成一體化設(shè)計(jì)，觸摸屏控制和顯示，具有的易用性；

★ 可以自動(dòng)調(diào)節(jié)施加在樣品的測(cè)試電壓，以防樣品擊穿；

★ 進(jìn)口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛，耐溫1100℃，配有超溫報(bào)警電路；

★ 耐高溫四探針夾具，碳化鎢探針，99氧化鋁陶瓷絕緣；

★ 可以通過USB傳輸數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)格式為Excel格式。

佰力博科技合作單位

※ 部分合作企業(yè)
中航工業(yè)成都凱天電子、雷子克、陜西萊特邁思光材料等

※ 部分合作高校
清華大學(xué)、武漢大學(xué)、浙江大學(xué)、華北電力大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、鄭州大學(xué)、華南理工大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、內(nèi)蒙古科技大學(xué)、安徽大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)、蘇州大學(xué)、桂林電子科技大學(xué)、香港理工大學(xué)、南洋理工大學(xué)、澳大利亞國(guó)立大學(xué)等

※ 部分合作研究所
中國(guó)科學(xué)物理研究院、中科院上海硅酸鹽研究所、中科院成都光電所、中科院福建物構(gòu)所、中科院大連物化所、中科院新疆理化所、中國(guó)電科第29所、新加坡科技局等