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工廠轉(zhuǎn)讓2臺(tái)進(jìn)口日本OTFC-1800CBI/DBI光學(xué)真空鍍膜機(jī) 真空室 SUS304, φ1800mm×1920mm (H) 工件架 φ1600mm 工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 30rpm(可變) 光學(xué)膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀 波長(zhǎng)范圍:350nm to 1100nm 反射式或透射式 石英晶振膜厚計(jì) /3+6點(diǎn)式石英晶體傳感器 蒸發(fā)源 電子槍2套 離子源 23cmRF離子源 排氣系統(tǒng) 機(jī)械泵+2個(gè)擴(kuò)散泵+Polycold(或2個(gè)冷凝泵) 性能: 達(dá)到壓力 7.0×10-5?Pa 以下 排氣時(shí)間 20分(大氣壓~1.3×10-3?Pa) 基板溫度 :350℃ 特點(diǎn): OTFC系列是用于生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。 真空室尺寸:Φ600-1800mm 60點(diǎn)/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控使用均勻分布的高離子電流密度的離子源 搭載雙電子槍,多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上 利用自動(dòng)蒸鍍控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸鍍過(guò)程 工件架可選擇鐘罩式或行星式 排氣系統(tǒng)可選擇擴(kuò)散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵 工作條件: 設(shè)備尺寸 約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H) 電源 3相, 200V, 50/60Hz, 約150kVA 水流量 180升/分以上 空氣壓力 0.5MPa以上 重量 約11200kg
透鏡 玻璃線紋尺 玻璃工作臺(tái) 棱鏡 校正片 標(biāo)定板 變倍鏡頭 反光鏡
注冊(cè)資金:100萬(wàn)-500萬(wàn)
聯(lián)系人:楊肖梅
固話:0769-38845461
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