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微型真空泵的基本原理:簡單的來說是:電機的圓周運動,通過機械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復式運動,從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進行壓縮、拉伸形成真空(負壓),在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差,在壓力差的作用下,將氣體壓(吸)入泵腔,再從排氣口排出。
雖然原理較簡單,但要達到工業(yè)級的穩(wěn)定性和可靠性,實現(xiàn)起來卻有很大的難度。比如為了維持穩(wěn)定的真空度,對泵的氣密性等有很高的要求,在特殊的工藝和高科技技術(shù)保證下,微型真空泵的氣密性可以做的比較高,可滿足一些客戶對氣密性要求較高的應(yīng)用:如實驗室稀有氣體的分析、檢驗、循環(huán)等