德國萊寶LEYBOLD TURBOVAC MAG digital磁懸浮復合分子泵
[LEYBOLD
TURBOVAC
萊寶真空
磁懸浮復合
分子泵
W830C
W1300C
W1500C
W2000C
W2200C
W2800C
W3200C]
深圳市磁懸浮復合分子泵廠家
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[LEYBOLD TURBOVAC 萊寶真空 磁懸浮復合 分子泵 W830C W1300C W1500C W2000C W2200C W2800C W3200C]
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- 品牌： 萊寶
- 型號： W1300C
- 材質(zhì)： 鋁合金
- 驅(qū)動方式： 電動
- 用途： 其他
- 原理： 真空泵
- 功率： 見說明書
- 極限壓力： 見說明書
- 外形尺寸： 見說明書
- 規(guī)格： 復合分子泵
- 分子泵： 磁懸浮復合分子泵
TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT
W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)
典型應用
- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝
- 進樣室，轉(zhuǎn)移室
- 粒子加速器
- 科研
- 鍍膜系統(tǒng)
技術(shù)特點
- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)
- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控
- 噪聲和振動低
- 任意方向安裝
- 的轉(zhuǎn)子設計，實現(xiàn)高抽速和高前級耐壓
- 智能電源控制系統(tǒng)
- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）
- C版耐腐蝕
客戶得益
- 免維護
- 所有工藝氣體都有高氣載量
- 極限低，抽速高
- 前級耐壓高
- 同類中重量較輕，尺寸較小
- 耐粉塵
- 溫控達 90 °C (194 °F)，避免沉積物
（CT版）
- 高耐腐蝕性-CT版
- 氣體吹掃系統(tǒng)
| 技術(shù)參數(shù) | | | TURBOVAC MAG | | ||||||
| | W 830 | W 830 C | W 1300 | W 1300 C | ||||||
| 進氣口法蘭 | DN | 160 CF | | 160 ISO-F | | 200 CF | 200 ISO-F | 250 ISO-F | ||
| 抽速 | | | | | | | | | ||
| 氮氣 | I x s-1 | 900 | | 700 | | 1170 | 1100 | 1220 | ||
| 氬氣 | I x s-1 | 750 | | 650 | | 1100 | 1050 | 1180 | ||
| 氦 氣 | I x s-1 | 900 | | 500 | | 1150 | 1100 | 1200 | ||
| 氫氣 | I x s-1 | 740 | | 350 | | 920 | 920 | 1020 | ||
| 轉(zhuǎn)速 | min-1 | 36 000 | | 24 000 | | 36 000 | 36 000 | 36 000 | ||
| 壓縮比 | | | | | | | | | ||
| 氮氣 | | 1 5 x 108 | | > 5 x 107 | | 1 5 x 108 | > 108 | > 108 | ||
| DIN 28 400的極限壓強 | | | | | | | | | ||
| | mbar | < 1 x 10-10 | | < 10-8 | | < 1 x 10-10 | < 10-8 | < 10-8 | ||
| | (Torr) | (< 0 75 x 10-10) | | (< 0 75 x 10-8) | (< 0 75 x 10-10) | (< 0 75 x 10-8) | (< 0 75 x 10-8) | |||
| 前級耐壓，氮氣 | | | | | | | | |||
| 對流冷卻 水冷卻 | mbar (Torr)mbar (Torr) | 0 2 (0 15) 2 0 (1 5) | | – 2 0 (1 5) | 0 2 (0 15) 2 0 (1 5) | – 2 0 (1 5) | – 2 0 (1 5) | |||
| 推薦的前級泵 | | | | | | | | |||
| 旋片泵 | | TRIVAC | | TRIVAC | TRIVAC | TRIVAC | TRIVAC | |||
| 或抽速達100 m3/h的干壓縮泵 | D 65 BCS | | D 65 BCS | D 65 BCS | D 65 BCS | D 65 BCS | ||||
| 加速時間 | min | < 6 | | < 4 | < 6 | < 6 | < 6 | |||
| 前級管道法蘭 | DN | 40 ISO-KF | | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | |||
| 保護氣/破空端口 | DN | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | |||
| 水冷接口尺寸 | | | | | | | | |||
| (管子外徑) | mm (in ) | 1/4" | | 1/4" | 1/4" | 6 | 6 | |||
| 重量 | kg (lbs) | 35 (77 3) | | 32 (70 6) | 35 (77 3) | 32 (70 6) | 32 (70 6) | |||
| 技術(shù)參數(shù) TURBOVAC MAG W 1500 CT | ||||||
| 進氣口 | DN | 200 ISO-F | 250 ISO-F | 200 CF | ||
| PNEUROP的抽速 | | | | | ||
| 氮氣 | I x s-1 | 1100 | 1220 | 1100 | ||
| 氬氣 | I x s-1 | 1050 | 1180 | 1050 | ||
| 氦 氣 | I x s-1 | 1100 | 1200 | 1100 | ||
| 氫氣 | I x s-1 | 920 | 1020 | 920 | ||
| 額定轉(zhuǎn)速 | min-1 | 36 000 | 36 000 | 36 000 | ||
| 壓縮比 | | | | | ||
| 氮氣 | | > 108 | > 108 | > 108 | ||
| 極限壓強，根據(jù) DIN 28 400 | | | | | ||
| | mbar (Torr) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 10-10 (< 0 75 10-10) | ||
| 前級耐壓（對氮氣） | mbar (Torr) | 2 6 (1 95) | 2 6 (1 95) | 2 6 (1 95) | ||
| 推薦的前級泵 | | | | | ||
| 抽速達100m3/h的旋片泵或干泵 | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | |||
| 啟動時間 | | | | | ||
| 達95%名義轉(zhuǎn)度時 | min | < 6 | < 6 | < 6 | ||
| 出氣口外形尺寸 | DN | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | ||
| 吹掃和破空口 | VCR | 1/4" | 1/4" | 1/4" | ||
| 冷卻水接口 | | | | | ||
| （管道外徑） | mm (in ) | 6 4 (0 25) | 6 4 (0 25) | 6 4 (0 25) | ||
| 重量（近似） | kg (lbs) | 32 (70 6) | | 32 (70 6) | 32 (70 6) | |
| 技術(shù)參數(shù) | TURBOVAC MAG | | |||||
| | W 2200 C/CT | W 2200 | |||||
| 進氣口 | DN | 200 ISO-F | 250 ISO-F | | 250 CF | ||
| PNEUROP的抽速氮氣 氬氣 氦 氣 氫氣 | I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1 | 1600 1450 1780 1720 | 2000 1900 1980 1930 | | 1800 1700 1980 1930 | ||
| 額定轉(zhuǎn)速 | min-1 | 29 400 | 29 400 | | 29 400 | ||
| 壓縮比氮氣 | | > 1 x 108 | > 1 x 108 | | 1 x 108 | ||
| 極限壓強，根據(jù) DIN 28 400 | mbar (Torr) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 1 x 10-10 (< 0 75 x 10-10) | |||
| 前級耐壓（對氮氣）對流冷卻時 水冷卻時 | mbar (Torr)mbar (Torr) | – 2 (1 5) | – 2 (1 5) | 0 1 (0 075) 1 (0 75) | |||
| 推薦的前級泵抽速達100m3/h的旋片泵或干泵 | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | ||||
| 啟動時間達95%名義轉(zhuǎn)度時 | min | < 8 | < 8 | < 8 | |||
| 出氣口外形尺寸 | DN | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | |||
| 吹掃和破空口 | | 1/4" VCR | 1/4" VCR | DN 10/16 | |||
| 冷卻水接口（管道外徑） | | 1/2" | 1/2" | Swagelok管1/4" | |||
| 重量（近似） | kg (lbs) | 48 (106) | 48 (106) | 60 (132) | |||
| 技術(shù)參數(shù) | | TURBOVAC MAG | | |||||
| | W 2800 C | W 2800 CT W 2800 | W 3200 CT | |||||
| 進氣口 | DN | 250 ISO-F | | 250 ISO-F | 250 CF | | 320 ISO-F | |
| PNEUROP的抽速 | | | | | | | | |
| 氮氣 | I x s-1 | 2650 | | 2650 | 2650 | | 3200 | |
| 氬氣 | I x s-1 | 2450 | | 2450 | 2450 | | 3000 | |
| 氦 氣 | I x s-1 | 2650 | | 2650 | 2650 | | 3000 | |
| 氫氣 | I x s-1 | 2100 | | 2100 | 2100 | | 2250 | |
| 額定轉(zhuǎn)速 | min-1 | 28 800 | | 28 800 | 28 800 | | 28 800 | |
| 壓縮比 | | | | | | | | |
| 氮氣 | | 1 x 108 | | 1 x 108 | 1 x 109 | | 1 x 108 | |
| 極限壓強，根據(jù) DIN 28 400 | mbar | < 10-8 | | < 10-8 | < 1 x 10-10 | | < 10-8 | |
| | (Torr) | (< 0 75 x 10-8) | | (< 0 75 x 10-8) | (< 0 75 x 10-10) | | (< 0 75 x 10-8) | |
| 前級耐壓（對氮氣）對流冷卻時 水冷卻時 | mbar (Torr)mbar (Torr) | – 2 0 (1 5) | | – 2 0 (1 5) | 0 3 (0 23) 3 0 (2 3) | | – 2 0 (1 5) | |
| 推薦的前級泵 | | | | | | | | |
| 抽速達100 m3/h的旋片泵或干泵 | TRIVAC D 65 BCS | | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | | TRIVAC D 65 BCS | ||
| 啟動時間 | min | < 10 | | < 10 | < 10 | | < 10 | |
| 出氣口外形尺寸 | DN | 40 ISO-KF | | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | | 40 ISO-KF | |
| 吹掃和破空口 | | 1/4" VCR | | 1/4" VCR | DN 10/16 | | 1/4" VCR | |
| 冷卻水接口 | Swagelok tube | 1/4" | | 1/4" | 1/4" | | 1/4" | |
| 重量（近似） | kg (lbs) | 64 (141 3) | | 64 (141 3) | 75 (165 6) | | 65 (143 5) | |
自1972年發(fā)展至今,深圳高志自動機電有限公司(自動工程有限公司)已成為一間享負盛名的真空泵、壓縮機、鼓風機、氣動馬達、真空系統(tǒng)及各類氣動配件的供應商。
深圳高志自動機電有限公司華西辦專業(yè)從事各品牌的銷售；如美國WALKERS、德國BECKER、德國LEYBOLD、美國GAST、日本FUJI及日本ANLET等，亦特別為客戶量身訂做之一系列高質(zhì)素及精心研制的系統(tǒng),其中包括中央真空系統(tǒng)。這些品牌在氣動技術(shù)領域皆處於性地位 , 其產(chǎn)品廣泛地應用於電子、醫(yī)療、化學、食品包裝、印刷、鞋類機械制造、金屬洗濯、塑膠真空脫泡、污水處理等行業(yè)。本公司同時供應不同國家的氣動配件,如美國的ALLENAIR 、英國的MAXAM 、臺灣的MINDMAN 及日本的HORI等。除產(chǎn)品銷售外,本公司也提供相關配件及維修保養(yǎng)和技術(shù)支援等服務。為能對客戶提供最快捷的服務,本公司已在中國國內(nèi)數(shù)個主要城市開設有服務點,其中包括深圳、無錫、成都、廣州、上海、天津及濟南等。從事氣動行業(yè)超過30年,自動工程有限公司無論在提供優(yōu)質(zhì)服務及技術(shù)支援等方面都能滿足客戶之要求,并因此確立了其在行業(yè)上之地位及聲譽。
我公司提供真空泵，氣動馬達，漩渦風機，螺桿真空泵，無油活塞泵，水環(huán)泵，中央真空系統(tǒng)，品牌包括WALKERS,Agilent ,BUSCH，GAST，FUJI，BECKER, Oerlikon LEYBOLD, Rietschle Thomas，Pfeiffer Vacuum， Edwards Vacuum ，KAWAKE,SULLAIR,ST等
自1972年發(fā)展至今，深圳高志自動機電有限公司(自動工程有限公司)已成為一間享負盛名的真空泵、壓縮機、鼓風機、氣動馬達、真空系統(tǒng)及各類配件的供貨商。
本公司專業(yè)從事*品牌的銷售，如
美國的威斯（WALKERS）
德國的萊寶 ( OERLIKON LEYBOLD )、
美國的泰悉爾/凱尼 ( TUTHILL / KINNEY )、
美國的嘉仕達 ( GAST )、
美國的安捷倫（Agilent）
丹麥的JUN-AIR、
德國的壽力 ( SULLAIR )、
德國的貝克 ( BECKER )、
韓國的KOWEL、
英國的 Allenair
日本的富士 ( FUJI ) 、
日本的HORI
香港的是高的 ( ScoreTech )等，
亦特別為客戶量身訂做之一系列高質(zhì)素及精心研制的系統(tǒng),其中包括中央真空系統(tǒng)。這些品牌在真空技術(shù)領域皆處于性地位，其產(chǎn)品廣泛地應用于電子、醫(yī)療、化學、食品包裝、印刷、濾油、儀器、覆模、鞋類機械制造、金屬洗濯、塑料真空脫泡、污水處理等行業(yè)。
除產(chǎn)品銷售外，本公司也提供相關配件及維修保養(yǎng)、系統(tǒng)工程和技術(shù)支持等服務。為能對客戶提供最快捷的服務,本公司已在中國數(shù)個主要城市開設銷售及維修服務辦事處，其中包括深圳、廣州、成都、重慶、合肥、上海、天津及沈陽。從事真空行業(yè)超過30年，自動工程有限公司無論在提供優(yōu)質(zhì)優(yōu)化服務及技術(shù)支持等方面都能滿足客戶之要求，并因此確立了其在行業(yè)上之地位及聲譽。
深圳高志自動機電有限公司成都部
注冊資金：100萬以下
聯(lián)系人：殷經(jīng)理
固話：028-89362710
移動手機：18922857887
企業(yè)地址：廣東 深圳市 龍崗區(qū)
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