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[TURBOVAC LEYBOLD 萊寶真空 半磁浮分子 分子泵 T350i T450i 渦輪分子泵 90i 250i]
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萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空,具有操作簡單,可靠性高等特點。與性能良好的前級泵組合后,可以實現(xiàn)低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。
萊寶真空是上渦輪分子泵品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應用于許多場合。
工作原理
渦輪分子泵轉子是一個帶葉片的渦輪,快速旋轉的葉片將動量傳輸給氣體分子,將起初無方向性的熱運動變成有定向運動。
渦輪分子泵的抽氣過程就是使氣體分子從進氣口法蘭定向運動到前級真空口。
在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強時,氣體分子的平均自由行程大于轉子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點幾毫米),分子主要與轉子葉片碰撞,所以
抽氣過程非常。
在粘滯流范圍,也就是壓強超過10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr),情況則完全不同,分子間的頻繁碰撞降低了轉子的效率。因此,渦輪分子泵無法在大氣壓下工作,需要適當抽速的前級真空泵。
為了使氣體分子產(chǎn)生定向運動,轉子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以,轉子也要有相應的高轉速。對于萊寶真空的渦輪分子泵而言,較大直徑轉子(例如 TURBOVAC 1000 ,大約20cm(7.87in.))的轉速大約為36000rpm,而較小直徑轉子(例如TURBOVAC50,大約6cm(2.36in.))的轉速為72000rpm。
分子泵設計理念
萊寶真空針對不同應用提供基于不同軸承和轉子技術的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機械軸承標準分子泵;TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵;TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵(半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤滑軸承,高真空端配置免維護的永磁軸承)。萊寶真空的分子泵均不采用油潤滑軸承可以從理論上完全避免分子泵對腔體產(chǎn)生碳氫化合物污染并且保證所有分子泵均可以任意角度安裝。
萊寶TURBOVAC i 分子泵剖面圖
TURBOVAC i/iX系列
TURBOVAC i/iX系列分子泵是萊寶真空采用全新的設計理念研發(fā)的全新一代分子泵。該系列產(chǎn)品為客戶提供真空的性能和較高的系統(tǒng)集成度。
TURBOVAC i/iX系列分子泵創(chuàng)新的軸承設計地克服了分子泵軸承設計的瓶頸,同時滿足了軸承無油和現(xiàn)場更換這兩大設計難點,實現(xiàn)了一代的技術水平。
TURBOVAC i/iX系列分子泵適合分析儀器、科研和普通工業(yè)應用
TURBOVAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢是:
- 無油,可以實現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件
- 運行高度可靠
- 耐輻射
- 設計緊湊
TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線的優(yōu)勢是:
- 款無油半磁浮分子泵
- 模塊化設計
- 抽速大,壓比高
- 免維護
- 清潔無油
陶瓷滾珠軸承技術
所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承,軸承終生脂潤滑。
陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此,使用陶瓷滾珠,座圈的磨損明顯降低。延長軸承和分子泵的壽命延長。
裝有脂潤滑的陶瓷滾珠軸承TURBOVAC泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝,所以即使分子倒置安裝,油脂也不可能進入高真空區(qū)域。
TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線的優(yōu)勢是:
- 款無油半磁浮分子泵
- 模塊化設計
- 抽速大,壓比高
- 免維護
- 清潔無油
陶瓷滾珠軸承技術
所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承,軸承終生脂潤滑。陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此,使用陶瓷滾珠,座圈的磨損明顯降低。延長軸承和分子泵的壽命延長。裝有脂潤滑的陶瓷滾珠軸TURBOVAC
泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝,所以即使分子倒置安裝,油脂也不可能進入高真空區(qū)域。
技術特點
TURBOVAC i
- 集成變頻器,24/48V DC 電源供電
- 切削成型轉子和全新復合級設計使分
子泵具有超佳性能和較大抽速,對輕
質氣體尤為突出
- 任意方向安裝
- 極高的可靠性源于創(chuàng)新的軸承設計理
念
- 設計靈活,適應性強
- 市場上一款無油半磁浮分子泵
- 現(xiàn)場維護(更換軸承),維修成本低,
時間短
- 通訊接口齊全(標配USB,RS485和
15針數(shù)字I/O)
TURBOVAC iX
- 集成真空系統(tǒng)控制器配置靈活的通訊
接口和附件控制接口(用于控制冷卻
單元,閥門,規(guī)管和前級泵等)
- 附件齊全,即插即用
- 適應性強,適合各類真空工藝
TURBOVAC T i, T iX
- 標準分子泵(不含復合級)
- 帶氣載能力強
- 耐粉塵
- 啟動時間短
典型應用
- 分析儀器/科研
- 質譜儀
- 電子顯微鏡
- 表面分析儀
- 加速器和同步加速器
- X射線分析儀
- 實驗室鍍膜系統(tǒng)
- MBE
- 超高真空系統(tǒng)
- 生命科學
- 放射醫(yī)療
- 伽馬射線
- 植入物生產(chǎn)
- 工業(yè)和鍍膜應用
- PVD鍍膜設備
- 光學鍍膜設備
- CD/DVD/藍光光碟生產(chǎn)
- 薄膜太陽能
- 進樣室/轉移室/傳輸室
- 電子束焊機
- 檢漏/真空絕熱
技術參數(shù) TURBOVAC
350i/ix 450i/ix T350i/ix T450i/ix
| 進氣口法蘭 | DN | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K |
| | | 100 CF | 160 CF | 100 CF | 160 CF |
| 前級法蘭 | DN | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF |
| 抽速 | | | | | |
| N2 | I x s-1 | 290 | 430 | 290 | 430 |
| Ar | I x s-1 | 260 | 400 | 260 | 400 |
| He | I x s-1 | 360 | 440 | 360 | 440 |
| H2 | I x s-1 | 350 | 420 | 320 | 400 |
| 氣載量 | | | | | |
| N2 | mbar x I x s-1 | 4 5 | 4 5 | 11 5 | 11 5 |
| Ar | mbar x I x s-1 | 2 0 | 2 0 | 6 0 | 6 0 |
| He | mbar x I x s-1 | 8 0 | 8 0 | 20 0 | 20 0 |
| H2 | mbar x I x s-1 | 8 0 | 8 0 | 20 0 | 20 0 |
| 壓縮比 | | | | | |
| N2 | | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1010 | 1 x 1010 |
| Ar | | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1011 |
| He | | 1 x 108 | 1 x 108 | 1 x 106 | 1 x 106 |
| H2 | | 1 x 106 | 1 x 106 | 1 x 104 | 1 x 104 |
| 極限壓強 | | | | | |
| (雙級旋片泵做前級) | | | | | |
| ISO-K / CF | mbar | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 |
| 前級耐壓 | | | | | |
| N2 | mbar (Torr) | 10 0 (7 5) | 10 0 (7 5) | 0 5 (0 375) | 0 5 (0 375) |
| 推薦的前級泵 | | | | | |
| TRIVAC | | D 4 B | D 4 B | D 16 B | D 16 B |
| SCROLLVAC | | SC 5 D / 15 D | SC 5 D / 15 D | SC 15 D / 30 D | SC 15 D / 30 D |
| DIVAC | | 3 8 HV3 | 3 8 HV3 | – | – |
| 轉速 | min-1(rpm) | 60 000 | 60 000 | 60 000 | 60 000 |
| 轉速調節(jié)范圍 | % | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至100 |
| 加速時間約 | min | 5 5 | 5 5 | 3 5 | 3 5 |
| 環(huán)境溫度要求 | | | | | |
| 運行 | °C | +5 至 +45 | +5 至 +45 | +5 至 +45 | +5 至 +45 |
| | (°F) | (+41 至 +113) | (+41 至 +113) | (+41 至 +113) | (+41 至 +113) |
| 儲存 | °C | -15 至 -70 | -15 至 -70 | -15 至 -70 | -15 至 -70 |
| | (°F) | (+5 至 -94) | (+5 至 -94) | (+5 至 -94) | (+5 至 -94) |
| 冷卻方式 | | | | | |
| 標配 | | 對流 | 對流 | 對流 | 對流 |
| 可選 | | 風冷或水冷 | 風冷或水冷 | 風冷或水冷 | 風冷或水冷 |
| 水冷接口 | | | | | |
| | | 6 x 1軟管接頭 | 6 x 1軟管接頭 | 6 x 1軟管接頭 | 6 x 1軟管接頭 |
| | | 或1/8”管螺紋 | 或1/8”管螺紋 | 或1/8”管螺紋 | 或1/8”管螺紋 |
| 冷卻水流量 | l/h | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至 100 |
| 冷卻水壓力要求(g) | | 3 至 6 | 3 至 6 | 3 至 6 | 3 至 6 |
| 冷卻水溫度要求 | °C | +15 至 +35 | +15 至 +35 | +15 至 +35 | +15 至 +35 |
| | (°F) | (+59 至 +95) | (+59 至 +95) | (+59 至 +95) | (+59 至 +95) |
| 噪聲 | | | | | |
| 對流冷卻 | db(A) | < 44 | < 44 | < 44 | < 44 |
| 帶徑向冷卻風扇 | db(A) | < 47 | < 47 | < 47 | < 47 |
| 帶軸向冷卻風扇 | db(A) | < 49 | < 49 | < 49 | < 49 |
自1972年發(fā)展至今,深圳高志自動機電有限公司(自動工程有限公司)已成為一間享負盛名的真空泵、壓縮機、鼓風機、氣動馬達、真空系統(tǒng)及各類氣動配件的供應商。
深圳高志自動機電有限公司華西辦專業(yè)從事各品牌的銷售;如美國WALKERS、德國BECKER、德國LEYBOLD、美國GAST、日本FUJI及日本ANLET等,亦特別為客戶量身訂做之一系列高質素及精心研制的系統(tǒng),其中包括中央真空系統(tǒng)。這些品牌在氣動技術領域皆處於性地位 , 其產(chǎn)品廣泛地應用於電子、醫(yī)療、化學、食品包裝、印刷、鞋類機械制造、金屬洗濯、塑膠真空脫泡、污水處理等行業(yè)。本公司同時供應不同國家的氣動配件,如美國的ALLENAIR 、英國的MAXAM 、臺灣的MINDMAN 及日本的HORI等。除產(chǎn)品銷售外,本公司也提供相關配件及維修保養(yǎng)和技術支援等服務。為能對客戶提供最快捷的服務,本公司已在中國國內數(shù)個主要城市開設有服務點,其中包括深圳、無錫、成都、廣州、上海、天津及濟南等。從事氣動行業(yè)超過30年,自動工程有限公司無論在提供優(yōu)質服務及技術支援等方面都能滿足客戶之要求,并因此確立了其在行業(yè)上之地位及聲譽。
我公司提供真空泵,氣動馬達,漩渦風機,螺桿真空泵,無油活塞泵,水環(huán)泵,中央真空系統(tǒng),品牌包括WALKERS,Agilent ,BUSCH,GAST,FUJI,BECKER, Oerlikon LEYBOLD, Rietschle Thomas,Pfeiffer Vacuum, Edwards Vacuum ,KAWAKE,SULLAIR,ST等
自1972年發(fā)展至今,深圳高志自動機電有限公司(自動工程有限公司)已成為一間享負盛名的真空泵、壓縮機、鼓風機、氣動馬達、真空系統(tǒng)及各類配件的供貨商。
本公司專業(yè)從事*品牌的銷售,如
美國的威斯(WALKERS)
德國的萊寶 ( OERLIKON LEYBOLD )、
美國的泰悉爾/凱尼 ( TUTHILL / KINNEY )、
美國的嘉仕達 ( GAST )、
美國的安捷倫(Agilent)
丹麥的JUN-AIR、
德國的壽力 ( SULLAIR )、
德國的貝克 ( BECKER )、
韓國的KOWEL、
英國的 Allenair
日本的富士 ( FUJI ) 、
日本的HORI
香港的是高的 ( ScoreTech )等,
亦特別為客戶量身訂做之一系列高質素及精心研制的系統(tǒng),其中包括中央真空系統(tǒng)。這些品牌在真空技術領域皆處于性地位,其產(chǎn)品廣泛地應用于電子、醫(yī)療、化學、食品包裝、印刷、濾油、儀器、覆模、鞋類機械制造、金屬洗濯、塑料真空脫泡、污水處理等行業(yè)。
除產(chǎn)品銷售外,本公司也提供相關配件及維修保養(yǎng)、系統(tǒng)工程和技術支持等服務。為能對客戶提供最快捷的服務,本公司已在中國數(shù)個主要城市開設銷售及維修服務辦事處,其中包括深圳、廣州、成都、重慶、合肥、上海、天津及沈陽。從事真空行業(yè)超過30年,自動工程有限公司無論在提供優(yōu)質優(yōu)化服務及技術支持等方面都能滿足客戶之要求,并因此確立了其在行業(yè)上之地位及聲譽。
注冊資金:100萬以下
聯(lián)系人:殷經(jīng)理
固話:028-89362710
移動手機:18922857887
企業(yè)地址:廣東 深圳市 龍崗區(qū)